Gebraucht TEGAL 6500 #9238618 zu verkaufen

TEGAL 6500 ist ein Mikrofabrikationswerkzeug zum Ätzen und Aschen in einer Vielzahl von Materialien. Das Gerät ist äußerst vielseitig einsetzbar, mit einer Vielzahl von Anwendungen wie Dotieren, Abscheiden, Materialabtragen und Ätzen. Sein Standard-Heizsystem ermöglicht es, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, darunter Metalle, Silizium, Oxide, Polymere und Keramik. 6500 weist einen 13-Zonen-Reaktor auf, der aus einer hydraulischen achteckigen Kristallkammer (28,5 cm Durchmesser) und sechs magnetisch aufgehängten, aus ebenen, gleichmäßig verteilten Extraktionskanälen besteht. Diese elektromagnetische Konstruktion gibt dem Gerät große Flexibilität bei der Auswahl und Definition von Ätz- und Ascheparametern. Der 13-Zonen-Reaktor ermöglicht es TEGAL 6500, bis zu insgesamt 18 Zonen nutzbarer Prozessfläche zu erreichen, während seine gleichmäßige Verteilung der Gasströmung über den gesamten Prozessbereich ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen auf allen Oberflächen ermöglicht. Die Standard-Hubhöhe von 6500 beträgt 20mm und übertrifft die aktuellen Industriestandards. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Hilfsoptionen. Diese können für bestimmte Anwendungen wie reaktives Ionenätzen konfiguriert und zur Verbesserung spezifischer Ätzmechanismen oder zur Optimierung des Prozessdurchsatzes eingesetzt werden. Dazu gehören eine Ionenquelle, eine entfernte Plasmaquelle, ein Plasma-Hot-Spot-Identifikations- und -Kompensationswerkzeug und eine erweiterte Abscheidungsfunktion. Die Ionenquelle kann verwendet werden, um hohe Treue und vertikales Ätzen von Materialien wie Silizium und Germaniumlegierungen zu erreichen. Mit der Remote Plasma Source kann ein homogenes Ätzen für Strukturen mit hohem Seitenverhältnis erreicht werden. Das Plasma-Hot-Spot-Identifikations- und -Kompensationsobjekt bezieht sich auf ein Modell, das zum Erkennen und Unterdrücken von Hot-Spots verwendet wird, die Oberflächenmerkmale beschädigen können. Mit der erweiterten Abscheidungsfunktion können leitfähige oder isolierende Metallschichten erzeugt werden. TEGAL 6500 ist mit einem fortschrittlichen Management-Equipment konzipiert, das Fernzugriff und Echtzeit-Überwachung für alle seine Funktionen über sein eigenes Bedienfeld bietet. Dies ermöglicht eine verbesserte Sicherheit und Prozesskontrolle sowie eine komfortable Wartung des Systems. Alle relevanten Einheitenparameter können aus seiner integrierten Bibliothek gefüllt werden, und es hat die zusätzliche Fähigkeit, Rezepte für eine einfache Wiederverwendung zu speichern und abzurufen. 6500 ist ein äußerst handliches und vielseitiges Werkzeug, das eine breite Palette von Möglichkeiten für Forschung und Entwicklung, Prototyping und Produktion bietet. Das fortschrittliche Prozessmanagement, gepaart mit seiner breiten Palette an Optionen, macht es für eine Vielzahl von Prozessen sowohl im Labor als auch in der Fertigung gut geeignet. Seine vielfältigen Optionen und seine Erschwinglichkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine Vielzahl von Prozessen und Anwendungen.