Gebraucht TEGAL 6540 #9267990 zu verkaufen

TEGAL 6540 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der Geschwindigkeit und Präzision in seinen Ätz- und Ascheprozessen kombiniert. Mit einem Multi-Station-Design können 6540 angepasst werden, um die Ätz- und Ascheanforderungen einer Vielzahl von Materialien zu erfüllen, einschließlich Siliciumcarbid, Siliciumnitrid, Nitro-Molybdän (NMO) und Wolfram. Als Spitzenmodell bietet TEGAL 6540 eine höhere Ätzrate als andere Modelle, was schnellere und effizientere Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. 6540 verfügt außerdem über ein einzigartiges Vier-Zonen-Kammerlayout, das schnellen Zugriff zum Ätzen und Aschen bietet. Die Vierzonenkammer umfasst zwei Plasmazonen und zwei Reaktivgaszonen. Darüber hinaus kann TEGAL 6540 angepasst werden, um sowohl das Ätzen als auch das Aschen gleichzeitig zu handhaben. 6540 ist eine vollautomatische Maschine mit einer einzigartigen mehrachsigen Konfiguration, die hohe Ätz- und Ascheraten für eine Vielzahl von Oberflächen bietet. Die Kammer von TEGAL 6540 ist in vier Zonen unterteilt, wobei jede Zone einen anderen Ätz- und Ascheeffekt erzeugen kann. Mit Hilfe einer automatisierten optischen Ausrichtungsausrüstung kann 6540 automatisch für alle Unvollkommenheiten im Ätz- oder Ascheprozess angepasst werden und liefert hochpräzise Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt TEGAL 6540 über ein automatisches Reinigungssystem, das eine Vielzahl von Reinigungsmitteln verwendet, um Schmutz und andere Verunreinigungen aus der Kammer und der Optik zu entfernen. Die Reinigungseinheit verfügt außerdem über eine rotierende Armmaschine, die die Zeit für die Reinigung der Kammer reduziert. Insgesamt ist 6540 ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der ein zuverlässiges, effizientes und präzises Werkzeug zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien bietet. Mit seinem hochmodernen Design ist TEGAL 6540 eine ideale Wahl für ein breites Spektrum an Ätz- und Ascheanwendungen.