Gebraucht TEGAL 701 #104111 zu verkaufen

TEGAL 701 ist ein hochauflösender, computergesteuerter Trockenätzer zur Mikrostrukturierung auf kleinen Wafern und Substraten. Es ist ein vielseitiges Ätzwerkzeug, das eine Vielzahl von Ätzprozessen bewältigen kann und somit eine ideale Wahl für Forschungs- und Produktionsanwendungen darstellt. 701 verwendet ein fortschrittliches Softwaresystem, um den Ätzprozess zu überwachen, sodass der Benutzer die Ätzparameter anpassen kann, um die besten Ergebnisse zu erzielen. Der Ätzer bietet eine Vielzahl von Optionen zur Steuerung der Ätzrate, der Substrattemperatur, des Ätzwinkels und des Gasflusses. Darüber hinaus sorgt das fortschrittliche APC-System (Automatic Pressure Control) dafür, dass der Druck in der Kammer unabhängig von der verwendeten Chemie konstant bleibt. TEGAL 701 bietet darüber hinaus die Möglichkeit der automatisierten Schnellumstellung (QCO), die eine hocheffiziente und sichere Übertragung von Wafern zwischen verschiedenen Ätzprozessen, z.B. vom Nassätzen bis zum Trockenätzen, ermöglicht. Dadurch wird eine gleichbleibend hohe Ätzleistung gewährleistet, ohne zusätzliche Zeit für eine erhöhte Ätzratenstabilität aufzuwenden. 701 bietet auch eine hohe Flexibilität für das Plasmaätzen verschiedener Materialien wie Silizium, Metalle, Keramik und Halbleitermaterialien. Der Ätzer beinhaltet eine speziell entwickelte thermische Plasmatronenquelle, die Temperaturen von bis zu 1000 ° C bei minimalen Plasmaschäden erreichen kann. Darüber hinaus bietet der Ätzer auch Niederdruck-Vakuumätzen mit niedriger Konzentration, Inertgasgemischen und Hochdruck-Reingasätzen an. TEGAL 701 ist auch in der Lage, Tiefätzen durchzuführen, mit vertikaler Auflösung von 250nm und horizontaler Auflösung von 75nm. Darüber hinaus ermöglicht das eingebaute Echtzeit-Wafer-Tracking-System dem Benutzer, die Wafer zum Ätzen genau und präzise zu positionieren. Insgesamt ist 701 ein leistungsstarker, flexibler und zuverlässiger Trockenätzer für verschiedenste Ätzprozesse. Die fortschrittliche Steuerungssoftware, die automatisierte schnelle Umstellung und die High-End-Ätzfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Forschungs- und Produktionsanforderungen.