Gebraucht TEGAL 701 #9000653 zu verkaufen

TEGAL 701 ist ein Ätzer/Ascher für hochauflösende Mikroelektronik. Es ist ein leistungsfähiges Werkzeug zum Entfernen von unerwünschtem Material von Halbleitersubstraten und wird oft verwendet, um feine Muster mit einer feinen, präzisen Kante zu ätzen. Das Gerät verwendet eine Hochleistungslaserquelle, um einen fokussierten Lichtstrahl zu erzeugen, der dann auf das Substrat gerichtet wird. Dieser Strahl wird verwendet, um eine chemische Verbindung auf das Substrat abzuscheiden und dann das Material zu verdampfen, um kleine Löcher oder Mikroätzmuster zu erzeugen. 701 verfügt über einen optischen Tisch, der für große Substrate bis 1200 mm Länge ausgelegt ist. Es kann auf 0,3 μ m Auflösung geätzt werden, was eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Die Maschine ist vollautomatisiert, was schnelle, hochzuverlässige Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Es verfügt auch über eine temperaturgesteuerte Prozesskammer, die hilft, eine gleichmäßige Temperatur während des gesamten Zyklus zu halten, was eine bessere Reproduzierbarkeit des Ätzprozesses gewährleistet. Es bietet auch eine Autofokus-Option, die eine schnelle und einfache Abtastung des Substrats ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über eine Lichtbogenüberwachungseinheit, die den Spurspannungsbogen am Anfang und Ende der Ätzzyklen misst. Dadurch wird sichergestellt, dass das Substratmaterial nicht übergeätzt wird, wodurch die Gefahr von Beschädigungen verringert wird. Die Maschine ermöglicht auch eine eingehende Nachprozessanalyse, die den Anwendern detaillierte Informationen zum Ätzprozess liefert. Das Tool enthält auch die interne Software TEGAL 701, die zur Überwachung und Steuerung des Prozesses verwendet werden kann. Dies beinhaltet die automatische Anpassung von Parametern, so dass Benutzer ihren Ätzprozess feinjustieren können. Darüber hinaus bietet es Diagnosefunktionen, mit denen Benutzer Probleme schnell und effektiv erkennen und beheben können. 701 Ätzer/Ascher ist für den Einsatz in Forschungs- und Entwicklungsabteilungen konzipiert. Es ist ideal für die Herstellung von geätzten Eigenschaften nach hohen Standards in einer Vielzahl von Branchen, wie Elektronik, Medizin und Automobilherstellung. Mit seinen hochpräzisen Ätzfähigkeiten und der automatisierten Prozesssteuerung ist es ein unschätzbares Werkzeug für die Erstellung komplexer, hochwertiger Teile.