Gebraucht TEGAL 701 #9000660 zu verkaufen

TEGAL 701
Hersteller
TEGAL
Modell
701
ID: 9000660
Plasma in-line etcher, 4" In-operable.
TEGAL 701 ist ein Ätzer/Aser zur präzisen Verarbeitung von Silizium- und Verbundhalbleiterscheiben. Es verfügt über erweiterte Ätzfähigkeiten und eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen, von der genauen Oberflächenstruktur bis zur Verarbeitung und Herstellung von benutzerdefinierten Geräten. 701 ist vollautomatisch und verfügt über mehrere Modusauswahlmöglichkeiten, so dass Benutzer ihre Ätzung auf die genauen Anforderungen ihres Geräts anpassen können. Die eingebaute Gasförderanlage kann Prozessgase für maximale Ätzgenauigkeit präzise und präzise messen. Das Gerät verfügt über eine Quellleistung von 1600W und Plasmadrücken bis zu 1,2 Pa (9 mTorr), mit Prozessgasen wie Fluor, Chlor, Sauerstoff und Schwefelwasserstoff. Das System ist mit einer manuell verstellbaren Werkstückplattform ausgestattet, die es Benutzern ermöglicht, Wafer zu bewegen und zu positionieren, ohne sie vom Ätzer entfernen zu müssen. Seine einfache Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung und Präzisionstemperaturregelung für temperaturempfindliche Prozesse. Damit ist TEGAL 701 eine ideale Wahl für zuverlässiges und genaues Ätzen. Zusätzlich zu seinen Ätzfähigkeiten verfügt 701 auch über eine integrierte automatische Drucksteuerung, die eine höhere Genauigkeit im Vakuumbetrieb ermöglicht. Eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine ermöglicht einfache präzise Wafer- und Düsenpositionierprozesse. Der Ätzer ist auch mit einem fortschrittlichen Temperatursensor ausgestattet, der alle Temperaturen beim Ätzen genau überwacht. Das Werkzeug ist auch für den Betrieb mit geringer Partikelanzahl konzipiert und gewährleistet saubere und kontaminationsfreie Umgebungen. Die Software-Schnittstelle von TEGAL 701 ermöglicht eine einfache Einrichtung und Bedienung, wobei alle notwendigen Parameter für das Ätzen, einschließlich Leistung, Druck und Durchfluss, einfach eingestellt werden können. Das Gerät verfügt außerdem über eine Vakuumanzeige zur Überwachung des Vakuumniveaus beim Ätzen. Insgesamt ist 701 ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer, der für den präzisen Einsatz in einer Vielzahl von Verarbeitungsaufgaben ausgelegt ist. Mit seinen fortschrittlichen Ätzfähigkeiten, der einfachen Bedienung und der eingebauten Temperatur- und Drucküberwachung ist das Asset ideal für jede Situation, die ein präzises Ätzen von Silizium- und Verbundhalbleiterscheiben erfordert.
Es liegen noch keine Bewertungen vor