Gebraucht TEGAL 803 #201078 zu verkaufen

Hersteller
TEGAL
Modell
803
ID: 201078
Plasma inline etcher.
TEGAL 803 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für eine Vielzahl spezialisierter Prozesse. Diese spezialisierte Ätzplattform ist ideal für eine Vielzahl von Prozessen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, Nassätzen von komplexen Strukturen, Oxidätzen, hohes Seitenverhältnis photonische und plasmonische Mikrostrukturen und Trockenätzen. Diese technologisch fortschrittliche Ausrüstung ist über die TEGAL Corporation, einen weltweit führenden Anbieter von kundenspezifischen Ätz- und Aschersystemen, erhältlich. 803 verfügt über ein vertikales Kammerdesign, mit dem Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll verarbeitet werden können. Dieses System ist mit dem einzigartigen Etch Wizard II Steuergerät ausgestattet, das eine einfache und intuitive Steuerung des Ätz- und Emissionsprozesses ermöglicht. Der Etch Wizard II ermöglicht es Benutzern auch, aus der Ferne mit der Maschine zu interagieren, was die Bedienung und Wartung viel einfacher und bequemer macht. TEGAL 803 bietet außerdem zwei zusätzliche Steuerungssysteme - den Touch Wizard und den Digital Etch Selector (DES). Das DES-Steuerwerkzeug ermöglicht es Benutzern, ihre Ätzprozessparameter wie Druck, Zeit und Leistung genau zu steuern. 803 bietet auch eine breite Palette von Funktionen zur Maximierung des Ätz- und Emissionsprozesses. Je nach den gewünschten Prozessparametern ist die Anlage in der Lage, die Verarbeitung von warmen und kalten Substraten zu unterstützen. Darüber hinaus ist es auch in der Lage, ein breites Spektrum von Ätzgasen und Ätzchemikalien zu unterstützen, einschließlich Nassätzformeln sowohl für Oxid- als auch für metallische Materialien. Der Emissionsprozess ist auch einstellbar, so dass Benutzer ihr Emissionsprofil anpassen können, um ihre Prozesse zu optimieren. TEGAL 803 verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen. Vor allem ist das Modell mit TEGAL Shield Leak Detection Equipment ausgestattet, das entwickelt wurde, um gefährliche Gase, die beim Ätzen ein Risiko darstellen können, schnell und genau zu erkennen. Darüber hinaus ist das System auch mit einer Vielzahl von Inertisierungssystemen ausgestattet, um mögliche Gasaustritte weiter zu verhindern. 803 ist eine fortschrittliche Ätzplattform, die in der Lage ist, eine Vielzahl komplexer Strukturen schnell und genau zu ätzen. Diese fortschrittliche Ätzplattform wird durch eine Vielzahl intuitiver und präziser Steuerungssysteme sowie verbesserte Sicherheitsfunktionen unterstützt. Mit seinem einzigartigen Design, fortschrittlichen Funktionen und zuverlässiger Leistung ist TEGAL 803 eine ideale Wahl für spezialisierte Ätzprozesse.
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