Gebraucht TEGAL 803 #9180201 zu verkaufen

TEGAL 803 war ein Ätzer und Ascher, der in den 80er Jahren von TEGAL Devices, Inc. entwickelt wurde. Es wurde für den Einsatz in der Entwicklung von integrierten Schaltungen konzipiert, einschließlich für die Herstellung von verschiedenen Ebenen von Metall und dielektrische Produktion für dünne, kleine elektronische Komponenten. 803 war ein Hochleistungsätzer und Ascher zur Bildung von Dünnschichtmetall- und dielektrischen Strukturen. Es verfügt über hochmoderne Komponenten, darunter ein Panel-montiertes digitales Display und leistungsstarke Ätz- und Aschermotoren. TEGAL 803 verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, Prozesse genau zu planen und auszuführen. Die Ascheraten konnten mit 0,01 Inkrementen von 0,1 bis 5,0 Watt gesteuert werden, während die Plasmaätzrate mit 0,01 Inkrementen von 0,3 bis 5,0 Watt eingestellt werden konnte. Es hatte auch eine fortschrittliche Stromversorgung, die eine Reihe von Plasma angetriebenen Techniken unterstützen konnte, einschließlich Zehendruck, Druck unterstützt, und Blasenätzen. Sein benutzerfreundliches Panel ermöglichte es Konstrukteuren und Ingenieuren integrierter Schaltungen, Parameter wie Druck, Leistung und Prozessabläufe schnell und einfach einzugeben und anzupassen. 803 wurde mit einer breiten Palette von Materialien und Komponenten ausgestattet, einschließlich eines hochpräzisen Untersystems zur Differenzdrucksteuerung, einer Neigungskontrolle, die es dem Benutzer ermöglichte, die Flugbahn des Prozesses zu steuern, und einem dedizierten Mehrgasversorgungs- und Spülsystem. Die Steuerung des Systems wurde in das Panel integriert und ermöglicht eine präzise und wiederholbare Ätzung von Dünnschichtstrukturen. TEGAL 803 integrierte auch eine indizierte Multi-Pocket-Drahtabscheidungstechnik, die leistungsstarke i-Line- und DUV-Maskenbildfunktionen bot. 803 wurde entwickelt, um sehr zuverlässig und konsistent zu sein. Dank seiner fortschrittlichen ISO 9000-zertifizierten automatischen Sequenzierungs- und Auto-Tracking-Funktionen konnten Anwender schnell Dünnschichtstrukturen mit präzisen gleichmäßigen Dichteverteilungen entwickeln. Sein robustes Metallabscheidungsmerkmal könnte Dicken von weniger als 2 Mikrometer erreichen und Breite so schmal wie 1 Mikrometer aufweisen. Darüber hinaus ermöglichte die fortschrittliche ECR (electron cyclotron resonance) -Verarbeitung schnellere Ätzraten und verbesserte Kantenkonvergenz für komplexe Ätzstrukturen. Kurz gesagt, TEGAL 803 war ein leistungsfähiger und zuverlässiger Ätzer und Ascher, der integrierte Schaltungsingenieure bei der schnellen und präzisen Entwicklung von Dünnschichtmetall- und dielektrischen Strukturen unterstützt. Es zeigte fortschrittliche digitale Anzeige- und Ätz-/Aschermotoren, eine präzise Steuerung der Prozessparameter und eine robuste Auswahl an Materialien und Komponenten. Dank seiner leistungsstarken Funktionen und der ISO 9000-zertifizierten automatischen Sequenzierung und Auto-Tracking boten 803 Anwendern zuverlässige Ergebnisse und unterstützten die Entwicklung von Dünnschicht-Mikrokomponenten.