Gebraucht TEGAL 803 #9260044 zu verkaufen

TEGAL 803 Ätzer ist eine Multi-Prozess-Ätzausrüstung für großvolumige industrielle Anwendungen. Seine hohe Effizienz und seine geringen Kosten machen es zu einer attraktiven Option für eine Vielzahl von Aufgaben. 803 ist ein vollautomatischer Einkammer-Prozeßätzer mit einer Vakuumkammerkapazität von 8,4 Litern und einem Arbeitsdruck von bis zu 0,1torr. Es ist mit einem HF-Vorspannungsnetzteil sowie einem Mikrowellennetzteil für unterschiedliche Ätzprozesse ausgestattet. Sie weist ferner zwei Quarzätzplatten, eine Plasmaerzeugungseinrichtung und eine Quelle für Widerstandsmaterialien auf. Das System beinhaltet auch eine spezielle hochpräzise computergesteuerte Düsenbefestigungseinheit zur präzisen Befestigung des HF-Generators und der Vorspannung an den Ätzplatten vor dem Einführen des Substrats in die Kammer. Die computergesteuerte Stanzmaschine erleichtert präzise und wiederholbare Ätzprozessbedingungen und sorgt für Gleichmäßigkeit über alle in der Kammer platzierten Wafer. Die präzise und wiederholbare Prozesssteuerung von TEGAL 803 macht es ideal für die Herstellung von qualitativ hochwertigen, kleinlinienförmigen Substraten. Es kann Substrate von bis zu 200 µm Dicke mit einer minimalen Ätzteilung von 20 µm ätzen. Die Kammertemperatur kann auf maximal 400 ° C eingestellt werden. Das Tool verfügt auch über einen Hochgeschwindigkeits-computergesteuerten Einzelwaferlader, der bis zu 4 Wafer pro Minute in das Asset laden kann. Der Prozessor des Modells enthält auch Wafer-Bestätigungsalgorithmen, um eine maximale Wiederholbarkeit geätzter Prozesse sowie konsistente Prozesswafer zu Wafer zu gewährleisten. Die integrierte Diagnosesuite von 803 verbessert die Betriebseffizienz weiter, indem sie den Status der Geräte überwacht und Alarmverwaltungsfunktionen präsentiert. Durch das Lesen von Systemparametern, Prozessbedingungen und anderen Einheitenwerten können häufig Probleme diagnostiziert und Benutzer zu Korrekturmaßnahmen geleitet werden. Darüber hinaus umfasst TEGAL 803 eine aktive Vorabscheidungsmaschine, die die Oberfläche des Wafers vorbereiten soll, um die Ätzgleichmäßigkeit und -genauigkeit zu maximieren. Weitere Funktionen sind ein automatisiertes Reinigungstool zur Optimierung der Anlagenleistung und zur Reduzierung von Ausfallzeiten. 803 wurde entwickelt, um Zuverlässigkeit und gleichbleibend qualitativ hochwertiges Ätzen in industriellen, kleinen oder Forschungsanwendungen bereitzustellen. Die fortschrittlichen Funktionen und der effiziente Betrieb machen es zu einer idealen Wahl für langlebiges und leistungsstarkes Ätzen.