Gebraucht TEGAL 900e #9121969 zu verkaufen

TEGAL 900e ist eine innovative Ätz-/Aschermaschine, die ein präzises, genaues Ätzen oder Aschen einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Mit fortschrittlicher flexibler Technologie bietet TEGAL 900 E die ultimative Genauigkeit und Flexibilität für Anwendungen von einfachen Einzelschichten bis hin zu komplexen Hartmasken und Metallstrukturen. 900e ist mit einem innovativen Ultra Plasma Generator (UPG) mit einer fortschrittlichen HF-Quelle für die Photolackbelichtung ausgestattet, die bis zu 22kW hocheffiziente Leistung im 10-13.56MHz Bereich liefert und an die Steuerelektronik für die gesteuerte Plasmaerzeugung angepasst ist. Dies ermöglicht sowohl traditionelles Ätzen als auch Aschen/Abscheiden. Das System umfasst innovative automatisierte Prozesse wie Uniformitätstechnik, algorithmusbasierte Optimierungs- und Fehlererkennungstechniken, um die besten Ätz- und Ascheergebnisse zu gewährleisten. Eine Vielzahl von Gasmischungen und Druckniveaus können spezifiziert werden, um verschiedenen Materialbearbeitungsanforderungen gerecht zu werden. Die 900 E Einheit verfügt über einen integrierten Lade-/Verriegelungsmechanismus zum schnellen und einfachen Be- und Entladen von Teilen. Es enthält auch eine modular konfigurierbare Verschlussmaschine mit in sich geschlossenen mechanischen Vorhängen, mit denen die Kammer während des Betriebs von der offenen Atmosphäre isoliert werden kann. Dieses Verschlusswerkzeug sorgt für Sicherheit und ermöglicht die vollständige Automatisierung des Geräts. Das Modell ist mit einem Bedienfeld ausgestattet, das einen 7-Zoll-Bildschirm für einfache Geräteüberwachung und -steuerung enthält. Darüber hinaus bietet TEGAL 900e Integration auf Standortebene, externen Zugriff auf Programmparameter und Echtzeit-Datenerfassungsfunktion. TEGAL 900 E ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung komplexer Gerätestrukturen und bietet die Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz, die für eine Vielzahl von Anwendungen benötigt werden. Es ist eine kostengünstige Lösung für die Herstellung hochwertiger Teile in der Halbleiter-, Medizin- und anderen Branchen.