Gebraucht TEGAL 901 / 903 #9285865 zu verkaufen

TEGAL 901/903 Asher/Etcher ist eines der leistungsstärksten und vielseitigsten Ätz-/Aschesysteme, das es gibt. Es bietet ultrahohen Durchsatz mit Trockenätz- und Nassätzprozessen. Das Gerät ist in der Lage, 3 „- und 4“ -Wafer aufgrund seiner Hochleistungs-Prozesskammer, eines Hochleistungs-Hochfrequenzgenerators und eines Roboter-Wafer-Handhabungssystems mit hoher Geschwindigkeit zu ätzen/zu aschen. Die Prozesskammer der Einheit besteht aus Edelstahl mit einer hitzebeständigen keramischen Auskleidung. Im Inneren der Kammer befindet sich die Ätz-/Ascheelektrodenanordnung, die von einem Hochleistungs-Hochfrequenzgenerator gespeist wird. Dadurch können die Ätz-/Ascheparameter auf die spezifische Anwendung des Kunden zugeschnitten werden. Die Gasfördermaschine sorgt für eine schnelle und effiziente Entfernung von Gasumgehungsprodukten aus der Prozesskammer. Das Wafer-Handhabungswerkzeug ist in der Lage, bis zu fünf Wafer gleichzeitig mit einer Vorschubgeschwindigkeit von bis zu 200mm pro Sekunde zu handhaben. Es ermöglicht auch eine erhöhte Gleichmäßigkeit über eine breite Palette von Wafergrößen, mit einer Genauigkeit von 0. < sup > 2 </sup > mm. Der Robotermechanismus bietet die niedrigsten Gesamtbetriebskosten für das Wafer-Handling und eine maximale Verfügbarkeit für die Produktionsqualität. Die Wafer werden auf einen Waferhalter aufgesetzt, der pneumatisch von der Ladestation zur Entladestation bewegt wird. Die wählbaren Ätzraten und der hohe Durchsatz werden durch ein zuverlässiges zweistufiges Verlustmodell zur Verfügung gestellt, das eine gleichmäßige Gasverteilung über Druckpumpen bietet. Der monochromatische Plasmagenerator ermöglicht eine präzise Steuerung von Ionenenergie und -temperatur, die wichtige Parameter für die Ätz- und Ascheprozesse sind. Dies führt zu einer maximalen Kontrolle der Ätz- und Ascheprofile und bietet höchsten Durchsatz und höchste Qualität der Wafer. 901/903 Ascher/Etcher ist unter Berücksichtigung von Sicherheit, Wartung und Zuverlässigkeit konzipiert. Es enthält eine Reihe von Firewalls und Funkenunterdrückungssysteme, um die Sicherheit während des Betriebs und der Wartung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über eine hocheffiziente Kühlausrüstung sowie eine umfassende Liste von Ersatzteilen und Komponenten, um langfristige Zuverlässigkeit und Leistung zu gewährleisten. Zusammenfassend ist TEGAL 901/903 Asher/Etcher ein effizientes und zuverlässiges Ätz-/Aschesystem, das maximale Kontrolle und extrem hohe Produktionserträge bietet. Es ist die ideale Wahl für die Arbeit mit einer Vielzahl von Wafergrößen und ist außerordentlich zuverlässig und sicher.