Gebraucht TEGAL 901 #293624765 zu verkaufen

TEGAL 901 ist eine organische Ätz-/Aschermaschine für Anwendungen, die ein hochpräzises Ätzen organischer Schichten für die Geräteherstellung erfordern. Die Maschine ist sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen in der Lage und verwendet ein fortschrittliches computergesteuertes Positionsscannersystem. 901 verwendet zwei Arten von Kammern, die Ätzkammer und die Ascherkammer, jeweils mit einer Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten. Die Ätzkammer ist eine Standardätzzelle mit der neuesten integrierten Technologie und wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Anforderungen an die Geräteherstellung zu erfüllen. Es arbeitet mit 10 bis 150V bei Gasdrücken von mehreren hundert bis mehreren tausend Torr und chemischen Strömungsgeschwindigkeiten von 0,1 bis 4,0 SCCM. Die Kammer weist zwei Elektroden und eine Gleichstrom- oder HF-Stromquelle für gleichmäßiges und konsistentes Ätzen auf. Es bietet auch Echtzeit-Anzeige von Prozessparametern, so dass der Benutzer die Ätzbedingungen auf maximale Prozesstreue genau überwachen kann. Die zweite Kammer, die Ascherkammer, ist für Trockenätzprozesse ausgelegt. Es verwendet ein modernes F1- Chem™ reaktives Ionenätz- (RIE) Gaschemie-System, das sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen in der Lage ist. Sein Betrieb ist einstellbar, um bei unterschiedlichen Drücken, Temperaturen und Leistungsstufen zu arbeiten, was eine maximale Prozessflexibilität ermöglicht. Die Kammer verfügt über eine große F1-Scan Bearbeitungszelle, wobei der Scanbereich sowohl in der x- als auch in der y-Achse für flexible Probenverarbeitungsmöglichkeiten einstellbar ist. Es ist in der Lage, außergewöhnliche Genauigkeit mit schnellen Probenverarbeitungszeiten zu produzieren. TEGAL 901 ist eine ausgezeichnete Wahl für organische Ätz- und Ascheanwendungen. Es wurde entwickelt, um ausgezeichnete Erträge, reduzierte Betriebskosten und hochpräzise Ätzfunktionen zu bieten. Seine leistungsstarke Embedded-Software bietet Hochgeschwindigkeitssteuerung und Datenintegration und ist somit ideal für die Geräteherstellung. Es bietet eine Reihe von nützlichen Funktionen und robuste Leistung für anspruchsvolle Ätz- und Ashing-Anwendungen.