Gebraucht TEGAL 901 #293655088 zu verkaufen

TEGAL 901 ist eine hochpräzise Ätz-/Ascheausrüstung zur Herstellung von gewünschten Mustern auf Ätz-/Ascheflächen, wie sie in der MEMS-Fertigung verwendet werden. Das System hat die Fähigkeit, Proben in der Größe von Wafern bis zu Substrat- oder Chip-Level-Geräten zu verarbeiten. 901 verwendet eine Kombination von thermischen und Plasmaätztechniken, um gewünschte Muster exakt und sauber nach hohen Standards herzustellen. TEGAL 901 verfügt über einen zweistufigen Prozess, zunächst einen Ätzschritt und dann einen Ascheschritt. Während des Ätzprozesses wird erhitztes Gas verwendet, um die Oberfläche der Probe zu ätzen. Der thermische Ätzprozess bewirkt eine präzise Entfernung von Oberflächenmaterial durch Bewegung und chemische Reaktion der Gasmoleküle. Nach Beendigung des Ätzschrittes wird dann mit einem Plasmaascher das restliche Material der Probe vollständig entfernt. 901 verwendet ein High-End-Bedienfeld, um Parameter wie Temperatur, Druck und Gasdurchfluss einzustellen und zu überwachen. Es hat auch die Fähigkeit, ein bestimmtes Ätzmuster zu programmieren. Dadurch kann der Benutzer ein Bild oder Muster auf der Probenoberfläche exakt replizieren. Die Maschine ist für wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse im Laufe der Zeit ausgelegt. Um die Qualität zu gewährleisten, hat der Hersteller verschiedene Fail-Safes aufgenommen, die das Werkzeug bei unvorhergesehenen Ereignissen herunterfahren. Es hat auch die Fähigkeit, mit den neuesten Software-Patches für optimale Leistung aktualisiert werden. Schließlich führt das Asset ein internes Protokoll vergangener Ätzereignisse und Ergebnisse zur Rückverfolgbarkeit und Dokumentation. Abschließend ist das Etch/Ashe-Modell TEGAL 901 ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung präziser Muster auf Wafern und Chip-Komponenten. Seine ausgeklügelten Steuerungs-, Überwachungs- und Programmierfunktionen ermöglichen wiederholbare Ergebnisse und zuverlässige Leistung. Darüber hinaus sorgen die fortschrittlichen Sicherheitsmaßnahmen der Ausrüstung für die Qualität des geätzten Produkts.