Gebraucht TEGAL 901 #293752942 zu verkaufen

TEGAL 901 ist ein genauer, effizienter und zuverlässiger Ätzer/Ascher für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine Reihe von erweiterten Funktionen und Funktionen, so dass es einer der leistungsstärksten Ätzer/Ascher zur Verfügung. Es eignet sich für Anwendungen wie Ätzen durch Oxidschichten, Aschen von Photolack und Oxidabscheidung. 901 nutzt eine hohe Genauigkeit 150mm x 150mm Prozessfläche für maximale Ausbeute, mit wählbaren räumlichen Auflösungen von 3,5 Mikrometer bis 10 Mikrometer. Es bietet auch eine Präzisionstemperaturregelung, die das Prozessfenster von 200 ° C bis 950 ° C fein einstellen kann. Dadurch bleiben optimale Ätz- oder Aschebedingungen während des gesamten Herstellungsprozesses erhalten. TEGAL 901 verfügt auch über fortschrittliche Automatisierung und Steuerung, mit der Fähigkeit, gleichzeitig bis zu vier Kassettenlader und bis zu zwölf rotierende Kassetten zu betreiben. Dies ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung von bis zu zwölf Wafern. Darüber hinaus gibt die einfach zu bedienende Benutzeroberfläche dem Benutzer die volle Kontrolle über den Prozess. Dies beinhaltet die Möglichkeit, Prozessparameter genau zu überwachen und anzupassen, Alarme einzustellen und Werkzeugleistungsdrift zu erkennen. 901 ist auch hocheffizient, verbraucht bis zu 85% weniger Energie und produziert bis zu 50% mehr Wafer pro Stunde als die Standard-Industriesysteme. Diese Beihilfe zur Senkung des Energieverbrauchs und der Herstellungskosten. Darüber hinaus sorgen ausgeklügelte Umweltschutzsysteme dafür, dass gefährliche Gase und Partikelrückstände auf einem sicheren Niveau gehalten werden, was einen sicheren und effizienten Betrieb gewährleistet. TEGAL 901 ist ein effizienter, leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen. Mit seinen erweiterten Funktionen und Funktionen bietet 901 hohe Leistung und Genauigkeit für optimale Ausbeute.