Gebraucht TEGAL 901 #9113439 zu verkaufen

TEGAL 901 ist eine kompakte, leistungsstarke Ätz-/Aschemaschine, die von der TEGAL Corporation entwickelt wurde. Mit diesem Ascher/Ätzer wird eine hochauflösende Strukturierung von Substraten mit hoher Gleichmäßigkeit erreicht. 901 bietet präzise Ätz- und Ascheprozesse, die sehr genaue, wiederholbare Ergebnisse erfordern. Es verwendet eine breite Palette von Ätz- und Aschechemikalien, um die Gleichmäßigkeit bei Ätz- und Ascheprozessen zu gewährleisten. Es verwendet proprietäre Prozesssteuerungsalgorithmen für eine präzise Prozesssteuerung. Das System verwendet einen proprietären Hochtemperatur-Burnout-Algorithmus, um ein gleichmäßiges Burnout zu erzielen, das unerwünschte Seitenwandverunreinigungen beseitigt. TEGAL 901 verfügt auch über hochauflösende optische Musterfunktionen, um die höchstmögliche Präzision und Genauigkeit des Ätz- und Ascheprozesses zu gewährleisten. 901 ist mit einem fortschrittlichen Bedienfeld ausgestattet, das den gesamten Ätz- und Ascheprozess benutzerfreundlich und effizient macht. Es verwendet eine Touchscreen-Schnittstelle, um die Geräteparameter während des Prozesses zu steuern, zu überwachen und zu konfigurieren. Dieses Panel verbessert die Sichtbarkeit und erleichtert die Überwachung und Steuerung des gesamten Prozesses. Darüber hinaus umfasst der Ascher/Ätzer mehrere integrierte Sicherheits- und Überwachungsfunktionen, die Prozesssicherheit und qualitativ hochwertiges Ergebnis gewährleisten. TEGAL 901 ist für den leistungsstarken, kostengünstigen Betrieb ausgelegt. Es verfügt über hohe Durchsatzfunktionen und eine minimale Wartung, die eine maximale Ressourcennutzungseffizienz gewährleistet. Die Maschine produziert hochwertige, wiederholbare, knackige und gleichmäßige Muster mit außergewöhnlichen Wafer-Ausbeuten. Darüber hinaus bietet es verschiedene Waferkonfigurationen und Substratmaterialverträglichkeit, einschließlich Aluminium, Polysilizium, dotiertes Silizium, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Galliumarsenid und SiGe-Materialien. 901 verfügt über Hochtemperaturoperationen, die ein Hochgeschwindigkeitsätzen und -veraschen sowie verbesserte Ertragsraten ermöglichen. Es enthält auch einen fortschrittlichen Burnout-Algorithmus, um die Notwendigkeit von Abklingphasen zu eliminieren, wodurch der Ätzer/Ascher energieeffizienter wird. TEGAL 901 verfügt neben seinem effizienten Betrieb über eine kompakte und robuste Bauweise und unterstützt mehrere Sicherheitsmerkmale und ist somit ideal für industrielle Anwendungen geeignet.