Gebraucht TEGAL 901 #9226736 zu verkaufen
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ID: 9226736
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1985
Nitride etcher, 6"
Missing parts
1985 vintage.
TEGAL 901 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit einer vollständig anpassbaren Plattform, die eine präzise Materialbearbeitung ermöglicht. Mit der Fähigkeit, mit der heißesten Temperatur und den höchsten langfristigen Abscheideraten auf dem Markt zu arbeiten, ermöglicht 901 einen effizienten Schutz und eine mechanische Isolierung von ein- und mehrlagigen Baugruppen bei einer breiten Palette von Materialien. Dieser hochmoderne Ätzer/Ascher wird mit modernster Technologie betrieben, darunter ein digitales Kamerasystem und ein sicheres Offline-Bedienfeld. Es beinhaltet auch eine Reihe von Prozessoptimierungsoptionen, die ein empfindliches Ätzen und Aschen von Sorten mit genauer Kontrolle von Zeit, Temperatur, Druck und Sauerstoffgehalt ermöglichen. TEGAL 901 verwendet ein spezielles hydrochloridfreies Gas für Ätz- und Druckregelgeräte, um die Sauerstoffwerte beim Aschen im gewünschten Bereich zu halten. 901 verfügt darüber hinaus über ein unabhängiges Kammerheizsystem, das eine automatisierte Verarbeitung von Materialstapeln bei unterschiedlichen Temperaturen ohne zusätzliche Mantelheizung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein einzigartiges Temperaturstabilitätssystem, so dass die Temperatur trotz großer Materialtemperaturschwankungen stabil bleibt, was ein effizienteres Ätzen ermöglicht und Prozessschwankungen verhindert. Zusätzlich zu den oben genannten hat TEGAL 901 die Fähigkeit, Stoßwellen während Schock- und Lagerprozessen zu steuern. Es enthält zusätzlich einen 480nm Laserstrahl zur Anpassung von Ätz- und Aschevorgängen an alle Material- und Prozessanforderungen. Zusätzlich wird die Einheit mit einer fortgeschrittenen Doppelt-Oxydionsimplantationstechnologie für die Hopräzisionsabsetzung von Metallen, Dielektriken und anderen Materialien ausgestattet. Alles in allem ist 901 ein leistungsstarker und vielseitiger Ätzer/Ascher, der einige der höchsten langfristigen Abscheidungsraten und die fortschrittlichsten und genauesten Materialverarbeitungsfunktionen auf dem Markt bietet. Es ist ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von Ätz- und Aschebedürfnissen, mit der Fähigkeit, sich an fast jede Prozess- und Materialspezifikation anzupassen.
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