Gebraucht TEGAL 901 #9226737 zu verkaufen
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ID: 9226737
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Nitride etcher, 6"
Missing parts
1990 vintage.
TEGAL 901 ist eine hochentwickelte Halbleiterätzausrüstung, die entwickelt wurde, um zuverlässige hochpräzise Ergebnisse mit überlegener Qualität zu liefern. 901 ist für die Herstellung von integrierten Schaltungen gebaut und eignet sich perfekt für fortgeschrittene Forschungslabore sowie Halbleiter- und IC-Herstellungsprozesse. TEGAL 901 ist eine Einzelsystem-Ätzeinheit, die für eine breite Palette von Ätzaufgaben geeignet ist, einschließlich Metallätzen, Tiefätzen, MEMS-Ätzen und mehr. Es verfügt über fortschrittliche Steuerungssysteme und anspruchsvolle Wafer-Verarbeitungstechnologien, um den Prozess zu optimieren und perfekte Ergebnisse zu liefern, ohne auf Qualität zu verzichten. 901 weist eine 200 mm vertikale Ätzkammer mit einem 6-Wege-Spiegel auf. Diese Konstruktion ermöglicht einen gleichmäßigen Ätzvorgang über den gesamten Wafer und der 6-Wege-Spiegel ermöglicht eine präzisere Ätzung. Darüber hinaus wurde TEGAL 901 entwickelt, um die Ätzeffizienz und den Durchsatz mit seinen Multitargeting-Funktionen zu maximieren. 901 verfügt auch über erweiterte Wafer-Handhabungsfunktionen. Es bietet vollautomatisches Be- und Entladen, Transfer und Reject Management für bis zu 200 mm Wafer. Dies sorgt für konsistente und hochpräzise Ergebnisse ohne Verzögerungen. Die fortschrittliche Wafer-Handhabungsmaschine umfasst auch einen Mehrpositions-Vakuumarm zum präzisen automatischen Be- und Entladen von Wafern. TEGAL 901 ist für anspruchsvolle IC-Herstellung konzipiert, und seine anspruchsvolle Software und Hardware bietet die besten erweiterten Wafer-Verarbeitungsoptionen. Sein Software-Tool verfügt über Multi-Task-Programmierung und Überwachungsfähigkeit, so dass Benutzer einfach programmieren und überwachen ihren Prozess für genaue Ergebnisse. Seine fortschrittliche Software umfasst auch die automatische Rezeptauswahl für komplexe Prozesse, so dass Benutzer aus einer Reihe von Rezepten auswählen und den Bedarf an manueller Bedienung reduzieren können. 901 ist eine überlegene Ätzanlage, die zuverlässige und genaue Ergebnisse gewährleistet und ideal für IC-Fertigung und fortschrittliche Forschung und Entwicklung ist. Sein fortschrittliches Design und seine Fähigkeiten ermöglichen es Anwendern, höchstpräzise Ätzergebnisse zu erzielen und den Durchsatz zu maximieren.
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