Gebraucht TEGAL 901 #9250120 zu verkaufen

TEGAL 901
Hersteller
TEGAL
Modell
901
ID: 9250120
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1985
Nitride etcher, 6" Missing parts 1985 vintage.
TEGAL 901 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der hauptsächlich zur Prozesssteuerung und zur Waferherstellung in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es verwendet ein hochpräzises Elektronenstrahlsystem, um Materialien photochemisch auf die Substratoberfläche abzuscheiden. Das Substrat ist in der Regel ein Halbleiterwafer, kann aber auch ein Glas- oder Polymersubstrat sein. 901 bietet eine genaue, wiederholbare Prozesssteuerung und überwacht das Substratniveau in Echtzeit. Der Benutzer kann die Prozesseinstellungen an bestimmte Anforderungen anpassen. Der Ätz-/Abfrageprozess ist eine Art Ätzprozess, der einen Elektronenstrahl verwendet, um chemische Reaktionen zu verursachen, die die Oberfläche des Substrats verändern. Der Elektronenstrahl wirkt dann als „Maskierungsmittel“ für die Konstruktion, so dass der Ätzvorgang genau an der identifizierten Konstruktion ablaufen kann. Der Elektronenstrahl von TEGAL 901 kann fein auf das Substratmaterial und die Prozesseinstellungen abgestimmt werden, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten. Zusätzlich verfügt dieser Ätzer/Ascher über eine Gleichmäßigkeitsregelung, die die Leistung, Position und Strahllänge berechnet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzvorgang mit konsistenter Geschwindigkeit und auf einer bestimmten Substratebene erfolgt. 901 verfügt auch über eine Vielzahl von anderen erweiterten Funktionen, wie fortschrittliche Temperaturregelung und thermische Änderung Profilierung. Diese Funktion schützt die Oberfläche vor Hitzeschäden und sorgt dafür, dass die Temperatur sogar im gesamten Substrat liegt. TEGAL 901 wurde auch entwickelt, um die Geschwindigkeit und Genauigkeit von Ätzprozessen zu verbessern. Es verwendet einen leistungsstarken Elektromotor und dreht bis zu 25 m/s. Diese Geschwindigkeit minimiert die Abscheidezeit und maximiert die Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu manuellen Methoden. Insgesamt ist 901 ein robuster und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der speziell für die Prozesssteuerung und Waferherstellung in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es verfügt über erweiterte Funktionen, die die Geschwindigkeit und Genauigkeit von Ätzprozessen verbessern und eine verbesserte Prozesskontrolle bieten. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um Gleichmäßigkeitsfehler zu reduzieren und thermische Veränderungen zu mindern. TEGAL 901 ist eine vielseitige Lösung für eine Vielzahl von Prozessen.
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