Gebraucht TEGAL 901 #9250123 zu verkaufen

TEGAL 901 ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Temperaturen von bis zu 550 ° C zu liefern, um Materialien zu ätzen oder zu aschen. Zusätzlich verfügt 901 über einen integrierten Temperaturregler, der Temperaturen zwischen Raumtemperatur und maximal 550 ° C regulieren kann. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Temperaturverteilung und verhindert eine ungebührliche Erwärmung des Substrats. TEGAL 901 ist mit mehreren erweiterten Funktionen ausgestattet, die für eine optimierte Ätz-/Ascheleistung ausgelegt sind. Dazu gehören RFF (Radio Frequency Field) Bombardement, die bei der Gewährleistung der Gleichmäßigkeit über die Probe hilft. Darüber hinaus verfügt 901 über Vakuumfunktionen, die eine verbesserte Verarbeitungsgeschwindigkeit sowie höhere Präzision und Kontrolle ermöglichen. TEGAL 901 verwendet eine Kombination von Nass- und Trockenätztechniken unter Verwendung einer Fluorwasserstoffsäure und einer gepufferten Oxidätzlösung. Diese Kombination ermöglicht die Erzielung mehrerer Ätzstufen und höherer Ätzgenauigkeit. Zusätzlich verwendet 901 ein Trockenätzverfahren, bei dem ein Ätzgas wie Chlortrifluorid eingesetzt wird, das Oberflächenschäden minimiert und die Ätzeffizienz erhöht. TEGAL 901 verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, die den Bediener vor Schäden schützen sollen. Zu diesen Merkmalen gehört eine geschlossene Bearbeitungskammer, die mit Sensoren ausgestattet ist, die aktivieren, wenn unsichere Druck-, Temperatur- oder Gaskonzentrationen festgestellt werden. Darüber hinaus ist 901 mit einem Temperatur- und Druckabschaltsystem ausgerüstet, um die Verarbeitung automatisch abzuschalten, wenn unsichere Zustände erkannt werden. Abschließend ist TEGAL 901 ein hochwertiger Ätzer/Ascher, der speziell für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Seine fortschrittlichen Funktionen, wie RFF-Bombardierung und Trockenätztechnik, bieten optimierte Leistung, während seine Sicherheitsfunktionen die Betreiber vor Schaden schützen. 901 ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug zum Ätzen von Materialien mit präzisen und kontrollierten Ergebnissen.