Gebraucht TEGAL 901 #9408120 zu verkaufen

TEGAL 901 ist eine automatisierte Wafer-Produktionsausrüstung, die fortschrittliche Ätztechnologie verwendet, um kundenspezifische Wafer mit Präzision zu produzieren. Das System ist in der Lage, hochauflösende, hochpräzise Waferproduktion auf einer Vielzahl von Materialien durchzuführen, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und diamantähnlichen Materialien. Der Ätzprozess soll thermische Schäden reduzieren und die Qualität der zu verarbeitenden Materialien erhalten. Das Gerät nutzt variable Ätzzeiten und ein fortschrittliches, elastisch abgestimmtes Ätzrezept für eine überlegene Prozesssteuerung, was einen überlegenen Produktionsdurchsatz und Erträge ermöglicht. 901 ist mit einem integrierten Gasschrank ausgestattet, der sauren Dampf abgibt, der für den Ätzprozess benötigt wird. Die Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Nassätzen sowie Trockenätzen durchzuführen. Die Nassätzungen umfassen selektives Ätzen, Heißphosphoreszenzätzen und Nassstrahlen. Diese Verfahren bieten eine hervorragende Prozesskontrolle, Gleichmäßigkeit und höhere Ausbeuten. Die Trockenätzungen auf TEGAL 901 sollen das Risiko einer Kontamination im Ätzprozess reduzieren. Das Tool verwendet ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch) -Prozess, der bei höheren Temperaturen arbeitet, um die Gleichmäßigkeit zu fördern und ein besseres Profil in der geätzten Oberfläche zu erzeugen. Das Asset bietet zudem einen einzigartigen MEMS-Ätzprozess, der für Produkte von Micro Electrical Mechanical Systems optimiert ist. 901 wurde speziell entwickelt, um ein Ätzmodell bereitzustellen, das in der Lage ist, ertragreichere Produkte zu geringeren Kosten als seine Wettbewerber herzustellen. Die enge Prozesskontrolle, Gleichmäßigkeit und Präzision der Geräte sorgen für verbesserte Produktionsqualität und Erträge für eine Vielzahl von Produkttypen. Der integrierte Gasschrank ermöglicht einen schnelleren und effizienteren Ätzprozess und seine fortschrittlichen, elastisch aufeinander abgestimmten Ätzrezepte bieten eine überlegene Prozesskontrolle und Erträge.