Gebraucht TEGAL 901ACS #9395520 zu verkaufen

TEGAL 901ACS etch/ash ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung mit überlegenen Fähigkeiten. Es verfügt über ein Self-Containment-Feature, das das Risiko einer Kontamination reduziert, und einen Single-Wafer-Batch-Prozess, der einen größeren Durchsatz und Kosteneinsparungen ermöglicht. Das System verfügt über ein mechanisches und elektrisches Design, das präzise und konsistente Operationen ermöglicht, und verfügt über eine Prozesssteuerung mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle, die einen einfachen Zugriff auf die Geräteeinstellungen und -parameter ermöglicht. 901ACS Ätzer wird standardmäßig mit zwei Prozessgasen geliefert: SF6 und Chlor. Mit dem Chlorgas werden Siliziumscheiben geätzt, während mit dem SF6-Gas Oberflächenverunreinigungen entfernt werden, die beim Ätzen entstehen. Zusätzlich kann die Maschine eine breite Palette von Wafergrößen von 100mm bis 300mm handhaben. Die Wafergröße wird automatisch erfasst und die Prozessparameter entsprechend angepasst. TEGAL 901ACS verfügt über eine große Kammer mit einer Kapazität von bis zu 12 Wafern, die gleichzeitig bearbeitet werden können. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine automatische Abkühlung, die sicherstellt, dass die Kammerumgebung bei einer sicheren Temperatur bleibt. Dies hilft auch, die Prozessparameter konsistent zu halten. 901ACS nutzt eine zweifrequente Wechselstromversorgung zur präzisen Prozesssteuerung, die eine Reproduzierbarkeit der Ergebnisse ermöglicht. Darüber hinaus ist die Anlage mit mehreren Sicherheitsmerkmalen wie Überspannungs- und Überstromschutz und Erdungserkennung ausgestattet. Das Modell hat auch einen modularen Aufbau, der es einfach macht, die Fähigkeiten der Ausrüstung zu aktualisieren und zu erweitern. TEGAL 901 ACS Ätzer/Ascher bietet eine Vielzahl von Prozessoptionen, die auf die Anforderungen vieler Anwendungen zugeschnitten sind. Dank seiner robusten Bauweise eignet es sich für die Serienproduktion und ist dank seiner Benutzerfreundlichkeit ideal für Labore mit geringen Stückzahlen geeignet. Seine Genauigkeit und Flexibilität machen es zur perfekten Lösung für Anwendungen, die präzise Ätzparameter erfordern.