Gebraucht TEGAL 901B #9262409 zu verkaufen

TEGAL 901B
Hersteller
TEGAL
Modell
901B
ID: 9262409
Etcher Gases: Nitrogen, Oxygen, Sulfur hexafluoride, Fluoroform.
TEGAL 901B Ätzer/Ascher ist eine Hochleistungs-Hochleistungsausrüstung, die entwickelt wurde, um hervorragende Verarbeitungsergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen mit hohem Volumen zu liefern. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die überlegene Leistung und hervorragende Ergebnisse für das Ätzen und Aschen von hochdichten, volumenstarken Substraten bieten. 901B bietet erweiterte Verarbeitungsfunktionen mit seiner dicken 7-Zoll (18 cm) Quarzlegierungskammer und zwei 10-Zoll (25 cm) -Legierungsoberflächenätzern, die für große Oberflächenbereiche bis zu 7 x 8,5 Zoll (18 x 22 cm) ausgelegt sind. Es enthält auch ein hochauflösendes Filter-plus-Optik-Design, das Anwendern höhere Auflösungen von bis zu 1 Mikron (0,001 mm). Das robuste Design von TEGAL 901B bietet eine hohe Geschwindigkeit von bis zu 38 fpm (67,3 cm/s) und stellt sicher, dass es das ideale System für die Verarbeitung großer Substrate mit der berühmten Ätzfilmtechnologie ist. Es verfügt auch über On-Board Distributed Computing Technology (DCT), die hilft, Ätzgeschwindigkeit und Effizienz zu maximieren und auch Wafer-to-Die oder Gehäuse-Filter Kompatibilität. 901B erzielt durch seine fortschrittliche Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Gasplasma-Technologie überlegene Ätz- und Ascheergebnisse. Es ist in der Lage, sowohl mit reaktivem Gas als auch mit nicht-reaktiven Gasmoden zu ätzen und zu aschen. Darüber hinaus kann es dank seiner Präzisions-ICR (Ion Cyclotron Resonance) -Option auch zum Glühen und Sputterätzen verwendet werden. TEGAL 901B umfasst eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen wie eine intuitive Benutzeroberfläche, eine mehrstufige Zugriffskontrolle und eine Option für die Integration von Remote Control Centers (RCC) -Servern, um konsistente Leistung, Qualität und Sicherheit zu gewährleisten. Es kommt auch mit einer IBM-kompatiblen PC-Steuereinheit und einer EDX (electron-dispersing X-ray) visuellen Messtechnik-Maschine, um Genauigkeit und Präzision der Ätz- und Ascheergebnisse zu gewährleisten. Insgesamt ist 901B ein zuverlässiges und vielseitiges Ätz-/Ascherwerkzeug, das überlegene Ätz-, Asche- und Glühergebnisse großer Substrate bietet. Seine erweiterten Funktionen, gepaart mit der Flexibilität und intuitiven Benutzeroberfläche, machen es zu einem idealen Kapital für Serienanwendungen sowie Forschungs- und Entwicklungsprozesse.
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