Gebraucht TEGAL 901e /903e TTW, #12388 zu verkaufen

TEGAL 901e/903e Thin Film Wafer (TFW) Ätzer/Ascher ist ein Hochleistungssystem für fortschrittliche Prozesssteuerung und überlegenen Waferdurchsatz. Es ist in der Lage, hohe Geschwindigkeit und einen reibungslosen Produktionsdurchsatz zu erzielen, was einen einwandfreien Prozess für kritisch herausfordernde Strukturen gewährleistet. Dieser vielseitige Ätzer/Ascher enthält eine breite Palette von Prozessvariablen, wie Ätzvorläufer, Gase und Drucküberwachungsgeräte, für einen hochflexiblen, zuverlässigen und reproduzierbaren Bohrer. Die SF 1000 Mikroverarbeitungstechnologie von TEGAL 901e/903e wurde entwickelt, um Fertigungsfortschritte mit Präzisionsanpassungsfähigkeit zu unterstützen. Der automatische zweistufige Ätzer ist so konzipiert, dass er schnell und effektiv überlegene Ätzgenauigkeit, Gleichmäßigkeit und Gesamtausbeute liefert. Die wiederholbare Präzisionskante hält die nahezu perfekte Maskierung aufrecht, was zu einer verringerten Beschädigung des Substrats führt. Die integrierte Seitenwandprofilierung ermöglicht eine intuitive und maßgeschneiderte Prozesssteuerung, um die gewünschten Ätzeigenschaften und -ergebnisse zu erreichen. TEGAL 901e/903e bietet benutzerfreundliche Ausrollmöglichkeiten. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht ein vereinfachtes Starten und Herunterfahren mit programmierbaren Prozessrezepten und -schritten. Um konstante Qualität zu gewährleisten, bietet die Prozessverfolgungsfunktion genaue und bequeme Schritt-für-Schritt-Rückverfolgbarkeit. Die Live-Datenanalyse ermöglicht es einem Bediener, Parameter entsprechend den Wafer-Eigenschaften und -Reaktionen anzupassen. Um Flexibilität und Vielseitigkeit zu erleichtern, ist der 901e/903e kompatibel mit einer Reihe von TEGAL-Prozessvorläufern und THP-kompatiblen Gasen, einschließlich Chlor, Stickstofftrifluorid und mit Sauerstoff angereicherter Luft. Der Wafer-Handler TF 1440 bietet erweiterte Roboter-Wafer-Manipulationsmöglichkeiten und ist mit TEGAL-Prozesskonservierungsmitteln (Suffix „T“) konform. TEGAL 901e/903e TFW Ätzer/Ascher ist ideal für die Serienfertigung in der Halbleiterindustrie und bietet eine zuverlässige und genaue Oberflächenreinigung und Ätzung von Kontaktlöchern, Lüftern und Metallabscheidungen. Dieser Ätzer/Ascher hat das Potenzial, einen überlegenen Durchsatz mit kompromissloser Produktqualität zu bieten.