Gebraucht TEGAL 901e #293594314 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein Ätzer, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, sowohl einseitige als auch doppelseitige Ätzschemata zu bedienen, die automatisiert oder manuell gesteuert werden können. TEGAL 901 E verwendet einen resistbeschichteten Wafer, der durch ein Plasma von Fluorkohlenstoffgasmolekülen geätzt wird. Dieses Plasma wird durch die Kombination von HF-Energie, Argon und Sauerstoff erzeugt, die die Fluorkohlenwasserstoffmoleküle in kleine Moleküle zerlegt, die an der Oberfläche der Wafer als Ätzmittel wirken. Dies ist vorteilhaft, da die Reaktion präzise gesteuert werden kann, so dass Muster mit höherem Detail geätzt werden können, als dies mit Naßätzmitteln möglich ist. Das Gerät umfasst auch eine Vakuumkammer, in der das Gasgemisch enthalten ist, und eine Quelle für HF- und Gleichstromleistung. 901e bietet 13 verschiedene Leistungsstufen, die eine optimale Abstimmung des Prozesses ermöglichen. Es verfügt auch über drei Prozesszeitgeber, die die Kontrolle über die Prozesszeiten ermöglichen, um eine bestimmte Ätztiefe zu gewährleisten. 901 E kann mit einer Gleichmäßigkeit von 2-3% über den Wafer geätzt werden und hat die Fähigkeit, Muster bis zu 5 Mikron zu ätzen. Das System kann auch Wafer bis 200 mm Durchmesser aufnehmen. Das Gerät selbst ist relativ wirtschaftlich im Vergleich zu ähnlichen Systemen mit ähnlichen Fähigkeiten und TEGAL 901e wird in vielen Halbleiterlaboren auf der ganzen Welt eingesetzt. Die Wartung für TEGAL 901 E ist minimal und die Maschine ist auf einfache Bedienung ausgelegt. Es kann auf den meisten Arten von Substraten wie Silizium, Aluminium und Titan verwendet werden. 901e ist vielseitig und zuverlässig, so dass es eine geeignete Wahl für diejenigen, die einen hochwertigen Ätzer.