Gebraucht TEGAL 901e #293595381 zu verkaufen

TEGAL 901e Etch/Asher Equipment ist ein vielseitiges Parallelverarbeitungssystem für die Herstellung und Forschung und Entwicklung auf der Basis von Ätz-/Aschertechnologie. Es ist mit 10.062 unabhängigen Prozesszonen ausgestattet, so dass Benutzer die Vorteile der parallelen Verarbeitungstechnologie nutzen können. Unter Verwendung eines mehrstufigen Mehrgasansatzes kann TEGAL 901 E für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheranwendungen verwendet werden, einschließlich Abscheidung, Metallätzen, Oxidentfernung, Maskierung und selektives Ätzen. 901e verwendet eine korrosionsbeständige Keramikkammer, die auf Temperaturen bis 650 ° C erwärmt werden kann. Es ist aus fortschrittlichen Nickel-Superlegierungen für optimierte thermische Leistung und Motorsteuerung gebaut. Diese ist mit einer Zwei-Zonen-Prozesskammerdesign gekoppelt, wobei jede Zone unabhängig voneinander mit einem gasdichten Balg abgedichtet ist. Dies gewährleistet gleichbleibende Verarbeitungsbedingungen zwischen den beiden Zonen. Das Gerät wird über eine anspruchsvolle computergesteuerte Konsole gesteuert. Dies erleichtert die automatisierte Sequenzierung von Prozessparametern wie Substratvorreinigung, Temperatur- und HF-Leistungsregelung, ionisierte Quellenauswahl, Druck und Ätz-/Ascher-Zykluszeiten. 901 E hat auch die Fähigkeit, mehrere zusätzliche periphere Ausrüstungsgegenstände wie flüchtige organische Monitore, Waferhandling-Klingen und ein Vakuum-Messgerät anzubringen. Diese Ätz-/Aschermaschine kann mit einer breiten Palette von Gasen verwendet werden, einschließlich Cl2, BCl3, SF6 und NF3. Das Werkzeug kann einfach über die computergesteuerte Konsole und seine Vielzahl von peripheren Geräten gesteuert und gewartet werden. TEGAL 901e ist ein unglaublich leistungsfähiges und zuverlässiges Asset für Ätz-/Ascheranwendungen mit der Flexibilität, auf mehrere Prozesschemien angewendet zu werden. Die zuverlässige keramische Kammerheizung und Zwei-Zonen-Fähigkeiten des Modells machen es ideal für Anwendungen in der Chipherstellung, Solarzellenfertigung und Photovoltaik-Industrie.