Gebraucht TEGAL 901e #293616017 zu verkaufen

TEGAL 901e
Hersteller
TEGAL
Modell
901e
ID: 293616017
Plasma etchers.
TEGAL 901e ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für den Einsatz in einer Vielzahl von elektrochemischen und verwandten Prozessen. Es verfügt über eine Mehrkammerausführung, die große Werkzeugfänge aufnehmen kann. Jede der vier Kammern wird unabhängig voneinander an Bord gesteuert, wodurch unterschiedliche Substrate und Materialien in jeder Kammer gleichzeitig geätzt und verascht werden können. TEGAL 901 E ist mit einer Drei-Zonen-Temperatur-Kontrollausrüstung ausgestattet, mit der Sie die Temperaturen in der Werkzeugkammer, der festen Vorläufer-Förderkammer und der Ätzkammer separat anpassen können. Die Temperatur wird auf eine Genauigkeit von +/- 1 ° C geregelt und ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter beim Ätzen oder Aschen. 901e enthält auch ein Fünf-Gas-Mix-Liefersystem, mit dem Sie den Gehalt an Sauerstoff, Chlor, Argon, Stickstoff und Schwefeldioxid in einem genauen Bereich anpassen können. Der leistungsstarke 901 E nutzt eine Echtzeit-Datenerfassungseinheit, um Prozessdaten auf einen PC oder eine andere Computerschnittstelle zu übertragen. Diese Informationen können verwendet werden, um Prozessänderungen vorzunehmen und die Leistung zu überwachen. TEGAL 901e ist in der Lage, präzise Muster mit einstellbaren Geschwindigkeits- und Abstandsparametern. Die wählbare Ätzmitteldurchflussrate, Laserleistung und Kühlmaschine sorgen für eine effiziente Entfernung von unerwünschtem Material. TEGAL 901 E verfügt zudem über eine Hochgeschwindigkeits-Scanfunktion, die es ermöglicht, ein Ätzen/Aschen für Substratdicken von 250 µm bis 10 mm durchzuführen. 901e verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und ein integriertes LCD-Panel. Es umfasst mehrere Sicherheitsmerkmale, wie ein automatisches Druckregelwerkzeug und thermische Abschaltschalter. Die intuitive und einfach zu bedienende Steuerungssoftware ermöglicht es Benutzern, einfach auf Prozessrezepte und Profildaten zuzugreifen und diese zu speichern. 901 E ist ein fortschrittliches und leistungsstarkes Ätz- und Aschwerkzeug, perfekt für elektronische und elektrochemische Prototypen und Fertigung.
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