Gebraucht TEGAL 901e #293618054 zu verkaufen

Hersteller
TEGAL
Modell
901e
ID: 293618054
Weinlese: 2003
Plasma etcher 2003 vintage.
TEGAL 901e ist ein Ätzer/Ascher, eine Art von Gerät zum Ätzen und Aschen von Substraten. TEGAL 901 E ist in der Lage, Ätz- und Ascheoperationen auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll durchzuführen. 901e ist ergonomisch und einfach zu bedienen. Es verfügt über einen leicht lesbaren LCD-Bildschirm mit einem selbstkalibrierenden Mikroprozessor-Controller. Diese Ätz- und Aschemaschine verfügt auch über ein Luftstromregelventil mit einem Bereich von 30-400 mm H2O, so dass der Bediener den Luftdruck für ein genaueres Ätzen und Aschen einstellen kann. 901 E ist mit einer optischen Überwachungseinrichtung mit einer Kamera zur Betrachtung des Ätz- und Aschebereichs zur Positionierung des Substrats ausgestattet. Dies ermöglicht eine genaue Ausrichtung des Substrats und stellt sicher, dass die Ätz- und Ascheprozesse genau sind. TEGAL 901e ist auch mit einer Substrat-Rotationssteuerung ausgelegt, um einen Substrat-Geschwindigkeitsbereich von bis zu 120 Grad pro Sekunde auszuwählen. Dies bietet die Flexibilität, selektiv zu ätzen und Asche mit verschiedenen Rezepten. Es verfügt auch über eine gekühlte Sub-Lifter-Baugruppe, die es ermöglicht, das Substrat während des Ätz- und Aschevorgangs zu kühlen. TEGAL 901 E verfügt über zwei hochempfindliche Gasdosiersysteme, die in sein Bedienfeld integriert sind. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Partikelüberwachungssystem, das es dem Bediener ermöglicht, die Partikelwerte in der Betriebsumgebung zu überprüfen. 901e verfügt über einen Glühofen und eine thermische Übertragungssteuerung für Ätz- und Ascheprozesse. Es verfügt außerdem über eine integrierte Vakuumeinheit und eine Backstation zur weiteren Verbesserung des Ätz- und Ascheprozesses. 901 E ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet: einem Not-Aus-Knopf, einer Niederstrom-Überwachungsmaschine und einem UV-Beleuchter zur Erkennung von UV- und Abriebgefahren. TEGAL 901e wurde speziell für das Ätzen und Aschen empfindlicher Substrate wie Polymerfolien, Folien und Folien entwickelt, um hohe Ätzraten, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu erreichen. Dieser Ätzer/Ascher eignet sich ideal zum Ätzen und Aschen von Substraten wie Photomasken, Flüssigkristallanzeigen, organischen Leuchtdioden und dünnen Filmen. TEGAL 901 E ist ein fortschrittliches, zuverlässiges Gerät, das erfolgreich Ätz- und Ascheoperationen mit jedem Substrat durchführen kann.
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