Gebraucht TEGAL 901e #293654398 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein reaktiver Ionenätzer, der sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse ermöglicht. Es ist ein hochmodernes Halbleiterprozesswerkzeug mit einem Flachbildschirm, einer intuitiven Benutzeroberfläche und einem Hochleistungsbetrieb mit hohem Durchsatz. Mit fortschrittlicher Plasmaätztechnologie bietet TEGAL 901 E ein präzises, konsistentes Ätzen und Aschen von Photoresists und anderen Materialien. 901e Ätzer/Ascher hat drei Kammern - zwei Ätzkammern und eine einzige Ascherkammer. Die Ätzkammer dient zum Ätzen eines Materials, während die Ascherkammer Rückstände und Schutt von der Oberfläche entfernt. Dieses Produkt wird mit einer Gleichstromversorgung betrieben und verfügt über eine leistungsstarke, voll computergesteuerte und Mikrocontroller-basierte Ausrüstung. 901 E verwendet ein Hochvakuumsystem, um eine hervorragende Bedienerfreundlichkeit, eine präzise Prozesssteuerung und verschmutzungsfreie Wafer bereitzustellen. TEGAL 901e Ätzer/Ascher verfügt über ein hochpräzises, vollfarbiges LCD-Touchscreen-Display, um sowohl Ätz- als auch Ashing-Einstellungen und -Einstellungen vorzunehmen. Die Parameter sind sowohl für Ätz- als auch für Ascheprozesse einstellbar und umfassen die Geschwindigkeit, die Temperatur, den Druck und die Gaszusammensetzung. Alle Parameter und Einstellungen können konfiguriert und gespeichert werden, was eine schnelle Einrichtung und einfache Bedienung ermöglicht. Für den Ätzprozess verfügt TEGAL 901 E über zwei interne unausgeglichene Magnetronsputterquellen, die eine gleichmäßige Abscheidung des Materials auf dem Wafer ermöglichen. Für den Aschevorgang sind zwei lastgesperrte Ascherkammern vorgesehen, die sowohl einen kalten Plasmaascher als auch einen heißen Plasmaascher verwenden. Das HF-Netzteil von 901e verfügt zudem über eine voll computergesteuerte Einheit, die eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. 901 E Ätzer/Ascher ist mit einer integrierten Steuerungsmaschine ausgestattet, die eine Steuerung von bis zu 16 Wafern gleichzeitig ermöglicht. Die Wafer sind auf einem einzigen Band untergebracht, was eine chargenweise Bearbeitung mehrerer Wafer ermöglicht. TEGAL 901e ist auch mit einem schnellen Probenlade-/Abrufwerkzeug ausgestattet, das eine hohe Produktivität und einen hohen Durchsatz ermöglicht. TEGAL 901 E Ätzer/Ascher ist eine effiziente, präzise und kostengünstige Ätz- und Aschelösung für jede Produktionsumgebung.