Gebraucht TEGAL 901e #293723711 zu verkaufen

TEGAL 901e ist eine Plattform für fortgeschrittene Single-Wafer Dielektrische Etch und Asher. Die Ausrüstung ist für die Verarbeitung von 200mm-Wafern konzipiert und dient der Unterstützung sowohl des nassen als auch des trockenen Prozesses. Der Ätzer/Ascher ist ein modulares System, das eine schnelle und genaue Steuerung des Ätzprozesses und eine gleichmäßige Temperatur in horizontalen und vertikalen Konfigurationen ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine integrierte intelligente Prozesssteuerungstechnik, die ein einfaches Debuggen und schnelle Reaktionszeiten ermöglicht. Als Ätzer baut TEGAL 901 E auf denselben Prinzipien wie seine Vorgänger auf, um einen höheren Durchsatz und eine bessere Prozesskontrolle zu gewährleisten. Der Ätzer ist auch in der Lage, hohe Seitenverhältnisätzungen mit einer Genauigkeit von bis zu +/- 0,005 um zu produzieren sowie Schäden an der Oberseite des Wafers zu minimieren. Als Ascher bietet 901e eine fortschrittliche Kontrolle der Plasmachemie, um Mikropartikel und Partikel zu minimieren. Darüber hinaus nutzt die Maschine eine verbesserte Strahlregelungstechnik, um ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Oberfläche des Wafers zu ermöglichen. Das Tool verfügt zudem über eine nachhaltige Filteranlage, die Partikel effektiv einfängt und Kontaminationen minimiert. 901 E verfügt über eine spezielle Seitenwandschutzdusche und eine beheizte Duschplatte, die ein sicheres und zuverlässiges Ätzen und Aschen ermöglicht. Zusätzlich enthält das Modell einen FX-Solid-Port, der in-situ SEG-Messungen während eines Waferlaufs ermöglicht. TEGAL 901e ist mit einer innovativen Touchscreen-Schnittstelle ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, den Prozess schnell und einfach einzurichten und zu überwachen. Das Gerät bietet auch Nachverarbeitbarkeit und ein integriertes Medienmanagementsystem, das eine effiziente Prozessüberwachung und CD-Wiederholbarkeit ermöglicht. Um eine genaue Chemie-Steuerung zu ermöglichen, beherbergt das Gerät eine ausgeklügelte Automatisierungsschaltung, die Prozessparameter kontinuierlich überwacht und verwaltet. Darüber hinaus ermöglicht das Datenkommunikationsprotokoll von TEGAL 901 E eine einfache Integration mit externen Geräten und Industriestandard-Software. 901e wird gebaut, um die höchsten Sicherheitsstandards zu erfüllen, so dass es eine ideale Wahl für die Produktionsumgebung ist. Die robuste Konstruktion der Maschine gewährleistet einen zuverlässigen und sicheren Betrieb und ist damit eine zuverlässige Ätz-/Ascherlösung für die fortschrittliche Waferbearbeitung.