Gebraucht TEGAL 901e #293811529 zu verkaufen

TEGAL 901e
Hersteller
TEGAL
Modell
901e
ID: 293811529
Wafergröße: 6"
Plasma etchers, 6".
TEGAL 901e ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher zum Präzisionsätzen und/oder Waschen von Wafern. Die TEGAL 901 E baut auf einer bewährten 900er-Architektur auf und verfügt über neue Materialien, innovative Technik und modernste Technologie. 901e ist auf eine modulare Architektur für einfachere Wartung und Upgrades ausgelegt. Die Ätz-/Aschermaschine ist aus hochwertigsten Materialien gefertigt, was eine verbesserte Leistung und Haltbarkeit gewährleistet. Das System verfügt über modernste Ätz- und Reinigungstechnologien, einschließlich mehrfacher Vakuumkammerdesign, verbesserter Gasabschirmung und Niederdruck-Niedertemperatur (LP/LT) Ätzprozesse. Die Fähigkeit, 150mm Wafer zu verarbeiten, macht 901 E effizienter, da es die Reinigung zwischen Wafern reduzieren und den Durchsatz erhöhen kann. TEGAL 901e verfügt zudem komfortabel über eine integrierte Temperaturregelung, die eine gleichmäßige Temperaturumgebung über die Ätzkammer ermöglicht. Dadurch wird eine verbesserte Ätzgleichmäßigkeit und die Vermeidung von Kontaminationen gewährleistet. Die Maschine verfügt außerdem über ein automatisiertes Überwachungs- und Steuerungswerkzeug, mit dem die Bediener den Zustand ihres Prozesses verfolgen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen können. TEGAL 901 E wurde speziell entwickelt, um genaue, qualitativ hochwertige Ätzung und Reinigung von Geräten zu gewährleisten. 901e umfasst eine Reihe von Prozessoptimierungstools, einschließlich automatisierter Prozessabstimmung, Prozessemulations- und Diagnosefunktionen, um die Genauigkeit und Qualität von Geräten weiter zu verbessern. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine Suite intuitiver benutzerfreundlicher Software, die die Bedienung und Wartung erleichtert. Die Software hilft den Betreibern, Prozesse in einer sauberen, kontrollierten Umgebung zu planen, zu überwachen und zu verwalten. Es wurde entwickelt, um eine optimale Qualitätskontrolle, flexible Prozessplanung und minimale Ausfallzeiten zu gewährleisten. 901 E ist ein führender Ätzer/Ascher bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Es wurde entwickelt, um schnelle, präzise Ätz- und Reinigungsfunktionen sowie die Flexibilität zur Anpassung der Prozesseinstellungen und den Komfort eines automatisierten Überwachungs- und Steuerungsmodells bereitzustellen. TEGAL 901e ist eine ideale Wahl für die Halbleiterproduktion in einer Vielzahl von Branchen.
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