Gebraucht TEGAL 901e #70079 zu verkaufen
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ID: 70079
Wafergröße: 4" - 6"
plasma etcher, 4"-6" capability
Polysilicon /Silicon Nitride Plasma Etcher
Cassette to cassette
13.56 MHz ENI RF Generator, 1000W
Microprocessor control
Non-friction spatula wafer transport.
TEGAL 901e Ätzer/Ascher ist ein hochentwickelter Bot, der hochpräzise, volumenstarke Ätz- und Ascheprozesse mit beispielloser Genauigkeit durchführen kann. TEGAL 901 E ist ein anpassbarer High-Gins-Geschwindigkeitsätzer/Ascher, der sich besonders für verschiedene fortgeschrittene Anwendungen in der Halbleiterindustrie eignet. 901e verfügt über ein hochentwickeltes Chemie-Abgabesystem, das jedes Mal genaue Mengen an Ätz- und Aschechemikalien schnell und präzise liefert. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Substratätz- und Ascheprozess innerhalb definierter Spezifikationen schnell und genau durchgeführt wird. 901 E verfügt auch über ein fortgeschrittenes Stufensystem, das den Wafer automatisch für einen besseren Durchsatz positioniert. Darüber hinaus ist es in der Lage, die Auflösung und Definition von Ätz- und Ascheprozessen genau zu steuern und es dem Benutzer zu ermöglichen, das Beste aus seinen Substraten zu machen und so die genauesten Prozesse und Ergebnisse zu gewährleisten. TEGAL 901e basiert auf einer vollständig integrierten Softwareplattform, die es einfach macht, sich in bestehende Prozesse zu integrieren, und ist mit einer robusten Prozesssteuerungstechnologie ausgestattet, die es ermöglicht, komplexe Ätz- und Ascheprozesse an anspruchsvolle Spezifikationen anzupassen. Es ist auch in der Lage, die Ätz- und Ascheparameter automatisch zu steuern, um sicherzustellen, dass der Prozess ohne Kupplung geht. Eines der vorteilhaftesten Merkmale von TEGAL 901 E ist seine Fähigkeit, mit einer breiten Palette von Materialstärken zu ätzen und zu aschen. Dies wird durch eine einzigartige mehrstufige Ätzoption erreicht, bei der bei jeder Waferdicke geätzt werden kann, sodass der Benutzer das Beste aus seinen Substraten herausholen kann. Der Benutzer hat auch Zugriff auf eine Vielzahl von erweiterten Prozessoptionen und Anpassungstools, so dass er seine Ätz- und Auswertungsprozessparameter feinjustieren kann. 901e verfügt auch über eine Vielzahl von Sensoren, die es dem Benutzer ermöglichen, Prozessschritte zu überwachen, Prozessparameter und die Ergebnisse des Ätz- und Veraschungsprozesses zu verfolgen. Insgesamt ist 901 E Ätzer/Ascher ein fortschrittlicher, leistungsstarker und zuverlässiger Ätz- und Aschebot, der sich perfekt für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen eignet. Seine fortschrittlichen Chemien und Bühnensysteme, seine präzise Prozesssteuerung und sein breites Spektrum an Ätz- und Aschemöglichkeiten ermöglichen es dem Anwender, das Beste aus seinen Substraten und Prozessen zu machen.
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