Gebraucht TEGAL 901e #70082 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen wie Mikroelektronik, medizinische Instrumentenherstellung, Life Sciences und Nanotechnologie entwickelt wurde. Es bietet eine breite Palette von Funktionen für hohen Durchsatz und präzises Ätzen, was die Herstellung von Mikro- und Nanogeräten und -schaltungen ermöglicht. TEGAL 901 E basiert auf der fortgeschrittenen Elektronbalkensteindruckverfahrentechnologie, die Präzision und hohen Durchfluss anbietet. Es kann ultrafeines Ätzen erreichen, um komplizierte Muster und Merkmale auf einer breiten Palette von Substraten und Materialien zu erzeugen. Das Gerät verfügt über eine motorisierte Bühne und ein optisches Mikroskop zur präzisen Ausrichtung der Substrate und ein Vakuumspannsystem zur Substratpositionierung und Ätztiefe. Damit kann das Gerät sogar minutenlange Muster bis auf Nanometer-Niveau ätzen. 901e verwendet eine Galliumarsenid-Elektronenkanone, die eine breite Palette von Strahlströmen von 100pA/V bis 10,000pA/V bei Beschleunigungsspannungen von 0-30KV erzeugen kann. Dies ermöglicht die Schaffung von feinen Linienbreiten und anderen komplizierten Merkmalen, die für die Herstellung moderner Mikro- und Nanogeräte erforderlich sind. Das Gerät verfügt zudem über integrierte Software zur Einstellung von Strahlhelligkeit und Fokus sowie zur Ausrichtung und Strukturierung. Es ist auch voll kompatibel mit den meisten Standard-Prozesskammern und kann in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet werden. Die Maschine wird mit einer 12 „Wafer - Trägerplatte geliefert und ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8“ zu handhaben. 901 E enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmechanismen, um die Sicherheit des Personals und des Werkzeugs zu gewährleisten, wie ein Interlock-Asset, ein Halogenlampen-Warnmodell, einen E-Stop-Schalter, einen Multiplexschalter und Wasserkühlkreisläufe mit Sicherheitsfunktionen. Insgesamt ist TEGAL 901e ein leistungsstarker, vielseitiger Ätzer/Ascher, der perfekt für moderne Mikro- und Nanogeräteherstellungsanwendungen geeignet ist. Es ist einfach zu handhaben, mit einer intuitiven Software-Schnittstelle, einer Reihe von Sicherheitsfunktionen sowie Präzisions- und Durchsatzfunktionen für komplexe Geräteherstellung.