Gebraucht TEGAL 901e #70083 zu verkaufen
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ID: 70083
Wafergröße: 4" - 6"
Plasma etcher, 4"-6" capability
Photoresisty asher
Cassette to cassette
13.56 MHz ENI RF Generator, 1000W
Microprocessor control
Non-friction spatula wafer transport.
TEGAL 901e ist eine hochwertige Plasmaätz- und Aschemaschine für moderne Mikrofertigungsprozesse. Dieses halbautomatisierte System zeichnet sich durch ein neuartiges Design aus, das sich für eine Vielzahl von Anwendungsbereichen eignet und somit eine ideale Wahl für Forscher, Ingenieure und industrielle Prozessentwickler darstellt. TEGAL 901 E bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber manuellen Ätz- und Aschetechniken, wie schnelle Plasmaätzraten, exzellente Prozesssteuerung und präzise ratiometrische lineare Ätztiefensteuerung. Der große 10 „x 8“ Arbeitsbereich von 901e ermöglicht einen hohen Durchsatz und eine schnelle Verarbeitung großer Substratgrößen. Seine leistungsstarke HF-Generatoreinheit ermöglicht es dem Benutzer, die gelieferte Leistung genau zu steuern. Die breite Palette der Ätzrezepte kann durch Änderung der Prozessparameter wie Gasfluss, Druck, Kammertemperatur und andere Variablen angepasst werden, was eine Feinabstimmung der Parametereinstellungen und wiederholbare, hochpräzise Ergebnisse ermöglicht. Das einzigartige Kammerdesign ist darauf ausgerichtet, die Prozesseffizienz zu maximieren und Verschmutzungen zu minimieren, was zu extrem niedrigen Partikelzahlen und optimaler Gleichmäßigkeit führt. 901 E bietet auch Zugriff auf erweiterte Ätz- und Aschefunktionen, wie Richtungs- und anisotropes Ätzen/Aschen, Strukturen mit hohem Seitenverhältnis sowie verbesserte Selektivität für verschiedene Materialien. Die Maschine ist für eine genaue Kontrolle über Ätztiefe und -breite ausgelegt, so dass Forscher Ätzexperimente, Prozesscharakterisierung und -entwicklung durchführen können. TEGAL 901e verfügt über Touchscreen-Operationen, die eine intuitive Benutzerkontrolle ermöglichen und eine einfache Rezepterstellung, Ätzratenüberwachung und Prozessanalyse ermöglichen. Für komplexere Anwendungen verfügt TEGAL 901 E über einen umfassenden Satz von Onboard-Datensystemen und bietet Anwendern detailliertes Prozess-Feedback. Das ergonomische Design des Werkzeugs ermöglicht eine einfache Reinigung, routinemäßige Wartung und längere Betriebszeiten in der Produktion. Abschließend ist 901e eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die auf der Suche nach einem zuverlässigen und hochfähigen Plasmaätz- und Aschervermögen sind. Es ist mit höchster Präzision und Liebe zum Detail konstruiert, um eine konstante, zuverlässige Leistung zu gewährleisten. 901 E bietet ausgezeichneten Durchsatz, Genauigkeit und Kontrolle und ist somit eine ideale Wahl für Mikrofertigungsprozesse.
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