Gebraucht TEGAL 901e #9009940 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um ein hohes Maß an Leistung und Flexibilität zu erzeugen und gleichzeitig zuverlässige, genaue Ätz- und Ascheprozesse zu ermöglichen. Dieser Ätzer kann in Kombination mit kompatiblen Substraten wie III-V-Halbleitermaterial und MEMS-Materialien eingesetzt werden. Als Niederdruck-Plasma-unterstütztes Gerät bietet TEGAL 901 E hervorragende Verarbeitungsfunktionen in jeder Umgebung, einschließlich Hochvakuum, Niederdruck-HF und Niederdruck-Sauerstoff-Umgebungen. 901e ist aus einer robusten, 100% Edelstahlkammer aufgebaut und umfasst ein Sicherheitsgehäuse mit EHD-Heizungen und Sensoren. Dies ermöglicht Plasmaprozesse über einen weiten Bereich von Temperaturen und Drücken. Der Ätzer verfügt über Quarzfensteransichten, die in-situ Beobachtungen ermöglichen. Ein unabhängig gesteuerter und beheizter Schild beseitigt Verschmutzungen und Kreuzkontaminationen von größeren Ätz-/Aschekomponenten. 901 E kann sowohl manuell als auch vollautomatisch eingesetzt werden. Für den manuellen Betrieb kann der Benutzer den Druck und die HF-Leistung beim Ätzen unabhängig und präzise steuern. Ferner weist der Ätzer ein vierdimensionales sequentielles Merkmal auf, das es dem Benutzer ermöglicht, eine Folge von Ätz- und Ascheparametern einzustellen und mit minimaler Rücksetzzeit mehrfach zu wiederholen. Diese Funktion trägt zur Maximierung der Prozesswiederholbarkeit und -produktivität bei. Das umfassende Diagnose- und Kontrollsystem ermöglicht es Benutzern, Prozessparameter anzuzeigen, mehrere Verarbeitungsparameter zu überwachen und zu steuern sowie Rezepte zu speichern, abzurufen und zu übertragen. Das System bietet auch erweiterte Datenprotokollierung, um prozessbezogene Verläufe zu verfolgen, so dass Benutzer Prozessprobleme effizient diagnostizieren können. TEGAL 901e ist mit einer Vielzahl von Methoden der Wafer-Handhabung, von der manuellen Wafer-Beladung, über Kassette kompatible Wafer-Transfer, isolierte Last-Lock, Lastkammer und Entlade-Kammer. Die Lastschloßkammer ermöglicht beispielsweise eine unabhängige atmosphärische Druckregelung für partikelfreies Ätzen und Aschen. TEGAL 901 E kombiniert all diese Funktionen und bietet Vielseitigkeit und überlegene Leistung für Ätz- und Ascheprozesse sowohl für Forschung als auch für Produktionsanwendungen. Es bietet hohen Durchsatz, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit bei der Herstellung hochwertiger Komponenten.