Gebraucht TEGAL 901e #9016256 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für die Photolackverarbeitung von großflächigen Substraten wie Si, SiO2 und GaAs. Diese Kombination etcher/asher basiert auf einer hoch effizienten Unterdruckflankenspritzenplasmaquelle, die widerhallend verwendet, der abnimmt, ätzen Gasverbrauch, dadurch Verunreinigung minimierend und die für die Oblatenverarbeitung erforderliche Zeit vermindernd. TEGAL 901 E verfügt über eine breite Palette von Plasmaparametern, wie Druckeinstellungen, Gasflusseinstellungen und HF-Leistungseinstellungen, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozessparameter zu optimieren und die Ätzrate und Qualität ihrer Produkte zu erhöhen. Der Ätzer/Ascher bietet zudem eine hervorragende Gleichmäßigkeit sowie eine präzise und qualitativ hochwertige Ätzung. Darüber hinaus ist 901e in der Lage, Photoresist-Behandlungen, die nicht mit herkömmlichen naßchemischen Ätzmitteln durchgeführt werden können. 901 E ist mit integrierter Diagnose ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, Prozessbedingungen in Echtzeit zu überwachen. Diese Diagnoseparameter umfassen Ätzrate und Qualität, HF-Leistung, Vakuumdruck und Gasfluss. Dieses System bietet dem Anwender eine verbesserte Prozesssteuerung und ermöglicht die Optimierung seines Prozesses für höheren Durchsatz und Ertrag. TEGAL 901e bietet auch einen hohen Grad der Prozessgleichförmigkeit über das komplette Substrat wegen des hoch effizienten Unterdruckflankenspritzenplasmaquelldesigns. Diese Funktion ist besonders nützlich bei der Verarbeitung größerer Substratgrößen und ermöglicht es Benutzern, im Vergleich zu herkömmlichen naßchemischen Ätzmitteln eine erhöhte Anzahl von Waferpartien zu erreichen. TEGAL 901 E verfügt über ein Zweikammerdesign, das eine überlegene Plattform für Ätzprozesse bietet, die eine Oberflächenbehandlung und -veraschung erfordern. Die Aschekammer kann von einem heißen auf einen kalten Modus umgeschaltet werden, so dass Benutzer mit minimaler Rüstzeit zwischen Ätz- und Ascheprozessen wechseln können. Neben seiner Veraschbarkeit bietet 901e auch eine präzise Taktung und Flusssteuerung für Ätzprozesse. 901 E ist der ideale Ätzer/Ascher für anspruchsvolle Prozesse wie Photolackbehandlungen und andere Photomasken und Ätzanforderungen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und leistungsstarken Fähigkeiten machen TEGAL 901e zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für das Ätzen und Aschen von großflächigen Substraten.