Gebraucht TEGAL 901e #9016257 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein fortschrittlicher Hochdurchsatz-Plasmaätzer/ascher zur Herstellung von Photomasken, Dünnschichtköpfen und MEMS-Geräten. Es verwendet eine patentierte gepulste laserinduzierte Ätztechnik, die die bis zu fünffache Ätzrate herkömmlicher Ätzwerkzeuge bietet. Es kann Ätzraten bis zu 25 μ m/min mit präziser Feature Edge Definition und minimalen Ätzschäden erreichen. Die Puls-Modus-Funktion ermöglicht es Benutzern, das Tiefenprofil des Ätzprozesses zu steuern und die Neuauflage von geätztem Material zu reduzieren. TEGAL 901 E wird durch eine Magnetfeld begrenzte induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) angetrieben, die für isotropes Ätzen mit hoher Gleichmäßigkeit, Selektivität und Homogenität optimiert ist. Die ICP-Quelle ist präzise in der Steuerung der Ätzselektivität, einstellbar mit einem Abstimmbereich von bis zu 500 Grad Celsius und in der Lage, bis zu 10 W Leistung mit hoher Wiederholbarkeit und Stabilität. 901e bietet eine präzise Steuerung der Ätz- und Kühlgasförderung mit unabhängigen Massenstromreglern (MFC) und Gasdruckregelsensoren (GPCS) für Ar, O2, N2 und andere Prozessgase. 901 E bietet präzises Plasmaätzen mit einer Kammergröße von 450 x 400 x 450 mm3 und einer Probengröße von bis zu 3 x 3 Zoll (76 x 76 mm). Es verfügt über ein vollautomatisches FOUP-Lademodul und ein optisches Dichtedetektionssystem. Darüber hinaus bietet TEGAL 901e mit seinem niedrig gelagerten Plasma und seinem einwandfreien Design eine überlegene Kontaminationskontrolle mit einer hervorragenden Lebenserwartung. TEGAL 901 E ist ein innovatives Ätzwerkzeug für High-End-Halbleiter-, Photomasken- und MEMS-Anwendungen. Es bietet höchste Genauigkeit beim Ätzen, eine präzise Steuerung der Ätzabgabe und der Parameter und ein niedrig lagerndes Plasma zur Kontaminationskontrolle. Einfach automatisiert, robust und kostengünstig, ist es das perfekte Werkzeug für Fertigungs- und High-End-Ätzprozesse.