Gebraucht TEGAL 901e #9071867 zu verkaufen
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ID: 9071867
In-Line Single Wafer Plasma Etcher, 4" - 6"
Cassette to cassette
Currently configured for 6" wafers
Super Spatula transport
Generator: ENI ACG-10B
Monitor: Dec VT 520
MFC's: UNIT 8100
Atmospheric sensor for venting
Temperature controller: choice of Neslab or Tek-Temp
Dry pump: Edwards QDP40
208V, 3 phase.
TEGAL 901e ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Es ist einer der vielseitigsten und leistungsstärksten Ascher auf dem Markt, in der Lage, eine breite Palette von Aufgaben zu erfüllen, vom Ätzen bis zum Aschen. TEGAL 901 E ist zuverlässig und kostengünstig, mit Funktionen, die es zu einer perfekten Lösung für jede Anzahl von verschiedenen Anwendungen machen. 901e verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es zu einer ausgezeichneten Wahl für alle Arten von Ätzen und Aschen machen. Es bietet eine Vielzahl von Gasen, einschließlich Argon und Sauerstoff, sowie eine Reihe von Temperaturen ideal für verschiedene Ätz- und Ascheoperationen. 901 E verfügt auch über eine hocheffiziente Stromversorgung und Pumpen, die einen gleichmäßigen Gasfluss und sogar Temperaturen im gesamten Arbeitsbereich bieten. Darüber hinaus verfügt TEGAL 901e über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Temperatur-, Gas- und Drucksensoren sowie einen Filter für die Partikelkonzentration. TEGAL 901 E ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Aschetechniken, wie Spin-Ätzen, chemisch-mechanisches Polieren, chemisches Ätzen und chemisch-mechanisches Polieren. 901e ist auch in der Lage, Nassätzprozesse, da es mit nassen Bänken für zusätzlichen Komfort integriert werden kann. Um effiziente Ätz- und Aschevorgänge zu ermöglichen, verfügt 901 E über eine benutzerfreundliche PC-Steuerung. Dieses System bietet eine Vielzahl von Funktionen, einschließlich eines Echtzeitdiagramms der Temperatur, des Drucks und anderer Parameter, die in Echtzeit angepasst und aktualisiert werden können. TEGAL 901e bietet auch eine Vielzahl von Rezepten und Diagnoseprogrammen, um sicherzustellen, dass es richtig funktioniert, sowie eine Rezept-Upload-Fähigkeit für Rapid Prototyping und Produkttests. Um höchste Arbeitsqualität und Genauigkeit zu gewährleisten, ist TEGAL 901 E mit einem großen terrassenförmigen Arbeitsraum ausgestattet, der eine einfache Bewegung von Probenmaterialien ermöglicht. 901e verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Gasdetektoren und Notluftaustritte, um sowohl den Bediener als auch den Ätz- und Aschevorgang zu schützen. 901 E ist ein idealer Ätzer und Ascher für jede Art von Halbleiterätz- und Ascheoperationen sowie andere allgemeinere Anwendungen. Das effiziente und anspruchsvolle Design sowie die benutzerfreundliche PC-Steuerung machen TEGAL 901e zu einer hervorragenden Wahl für eine Vielzahl unterschiedlicher Ätz- und Aschevorgänge.
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