Gebraucht TEGAL 901e #9072033 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein hochmoderner Asher/Etcher für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Dieses Gerät verfügt über eine automatisierte Bedienung, die es Anwendern ermöglicht, schnell und präzise Ätz- und Ascherscheiben verschiedener Größen und Materialien zu ätzen. TEGAL 901 E nutzt die HFI-Technologie (High Frequency Induction), um eine qualitativ hochwertige Ätzrate und doppelseitige chemische Aschermaschine für eine breite Palette von Reinigungsanforderungen zu erreichen. Dieses System verfügt auch über eine Genauigkeit von 10nm für Ätz- und Ascheranforderungen. Die robuste Leistung von 901e leitet sich von seiner fortschrittlichen Waferbearbeitungseinheit ab, die eine fortschrittliche Prozesskammer mit automatisierten Werkzeugköpfen und eine integrierte Gasverteilermaschine umfasst. Dies ermöglicht es Anwendern, mit dem Laser sehr präzise Muster zu erstellen und höchste Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Durchsatz zu gewährleisten. Außerdem verwendet das Tool ein modernes Vakuum-Asset, das effiziente und wiederholbare Vakuumdruckeinstellungen und -abläufe ermöglicht. 901 E verfügt über ein erweitertes Steuerungssoftwarepaket, mit dem Benutzer alle Prozessparameter manuell oder automatisch überwachen und steuern können. Dieses Modell verfügt auch über automatisierte Wafer-Handhabungsfunktionen, mit denen Benutzer bis zu vier Wafer gleichzeitig Etch und Asher verwenden können, was eine schnelle und effiziente Serienproduktion ermöglicht. Eine integrierte hochpräzise, geschlossene Waferausrichtung ermöglicht eine präzise Ausrichtgenauigkeit. TEGAL 901e ist aus hochwertigen Materialien und Komponenten hergestellt, so dass es sehr zuverlässig und langlebig ist. Dieses System ist sowohl benutzerfreundlich als auch wartungsfreundlich, mit einer einfach zu bedienenden Software-Schnittstelle und fortschrittlichen mechanischen und elektrischen Sicherheitssystemen. Abschließend ist TEGAL 901 E ein hochentwickelter Ascher/Etcher, der in der Lage ist, genaue und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Anforderungen an die Halbleiterherstellung zu erzielen. Mit seiner fortschrittlichen Wafer-Verarbeitungseinheit, einer geschlossenen Wafer-Ausrichtungsmaschine und automatisierten Wafer-Handhabungsfunktionen wurde dieses Tool entwickelt, um den hohen Durchsatz und die Genauigkeitsanforderungen einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen zu erfüllen.