Gebraucht TEGAL 901e #9181762 zu verkaufen

TEGAL 901e ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für die Photolithographie und Dünnschichtablagerungstechnik. Das System nutzt die neueste Vakuum- und Reaktionskammerdesign, so dass es außergewöhnlich zuverlässig, wiederholbar und präzise. Die TEGAL 901 E bietet zudem eine beispiellose Kosteneffizienz für eine mittlere Einheit. Die Reaktionskammer von 901e hat einen Durchmesser von 24 "und verwendet einen Top-Ladewaferhalter. Der Waferhalter und das Reaktionsgefäß sind beide aus Edelstahl gefertigt, was der Maschine eine ausgezeichnete thermische Stabilität verleiht. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine beeindruckende Temperaturregelung, Thermoelement-Sollwerte und Unterumgebungs-Entlüftungsfunktionen, die eine Vielzahl von Prozesstemperaturen ermöglichen. Das Asset nutzt ein Dual-Source-Design, das das Be- und Entladen beider Quellen in derselben Kammer ermöglicht und einen beispiellosen Durchsatz und Effizienz bietet. Die Quellen können während der Verarbeitung mit minimalen Störungen geladen und entladen werden. 901 E bietet auch eine präzise Kontrolle der Metalloxid-Verdampfungsraten und ermöglicht eine präzise Vorhersage der Filmeigenschaften. TEGAL 901e ist eine außergewöhnliche Plattform für Verfahren wie Photolithographie, Metalloxidverdampfung, Dünnschichtabscheidung, Filmätzen und Photoresist-Strippen. Es ist ein robustes, zuverlässiges Modell, das für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist und für mittlere Systeme sehr kostengünstig ist. Es verfügt über einen äußerst zuverlässigen, wiederholbaren Prozesszyklus, eine überlegene Temperaturregelung, wartungsarme Anforderungen und niedrige Betriebskosten, was es zu einer hervorragenden Wahl für Serienumgebungen macht.