Gebraucht TEGAL 901e #9196408 zu verkaufen

TEGAL 901e
Hersteller
TEGAL
Modell
901e
ID: 9196408
Wafergröße: 4"-6"
Reactive ion etcher (RIE), 4"-6" ENI ACG-10T RF Generator THERMO NESLAB M75.
TEGAL 901e ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für den Einsatz mit Ätzresist, der speziell für den Einsatz mit MEMS und Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses Gerät verfügt über einen Hochleistungs-Pulslaser mit einer breiten Palette von variablen Parametern für eine breite Palette von Produktionsläufen. Es kann schnelles, genaues und zuverlässiges Ätzen verschiedener Substrate einschließlich Kupfer, Molybdän, Aluminium, Silizium, Polysilizium, Oxid und Glas bereitstellen. TEGAL 901 E ist für die präzise und präzise Steuerung der Ätzresistenzentwicklung konzipiert. Der Hochleistungslaser des Geräts ermöglicht eine spezifische Steuerung von Laserdrift, Belichtungslänge und Gesamtätzzeit. Zusätzlich ist das Gerät mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um die Sicherheit während der Produktion zu gewährleisten. Diese Sicherheitsmerkmale umfassen einen Not-Aus-Knopf und ein akustisches Alarmsystem, das ausschallt, wenn das i-Kabel getrennt ist oder der Laser seine maximale Strahlleistung erreicht. Das Gerät ist ferner mit einer digitalen Steuereinheit ausgestattet, die eine aktive Stromversorgung, einen Laserstrahler, eine optische Faserabgabefaser und einen Rechenprozessor umfasst. Diese Kombination ermöglicht präzise und konsistente Ätzergebnisse. 901e bietet auch einfache Bedienung und niedrige Betriebskosten. Der Benutzer kann schnell Parameter ändern und das Gerät ohne zusätzliche Zeit oder Geld neu programmieren. Darüber hinaus ist das Gerät so konzipiert, dass es mit einer Reihe von Ätzresisten von Kodak, Photopat und Positiv arbeitet. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Reihe von Standarddickenscheiben kompatibel, so dass eine Reihe von Produktionsläufen möglich ist. Abschließend ist 901 E eine vielseitige und zuverlässige Ätz-/Aschevorrichtung, die für das präzise Ätzen einer Vielzahl von Substraten ausgelegt ist. Der Hochleistungslaser, die Sicherheitsmerkmale und die digitale Steuereinheit machen ihn zu einem wertvollen Werkzeug für die Halbleiter- und MEMS-Industrie. Darüber hinaus ist es aufgrund seiner Benutzerfreundlichkeit und der geringen Betriebskosten eine ideale Lösung für Produktionsläufe aller Größen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor