Gebraucht TEGAL 901e #9217066 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein Ätzer/Ascher, der weiche Röntgentechnologie verwendet, um Materialien mit feinerer Auflösung als andere Mustertechniken zu formen und zu verarbeiten. TEGAL 901 E verwendet einen programmierbaren Strahl energetischer Röntgenphotonen, um Materialschichten genau wegzuätzen und so gewünschte Muster und Formen mit sauberen, glatten Kanten und außergewöhnlichen Details zu erzeugen. 901e bietet hochpräzise und schnelle Materialmuster bis zu einer Größe von 1,5 nm bei relativ geringen Kosten im Vergleich zu anderen Systemen. Es ist sowohl für F&E als auch für Produktionsanwendungen im Halbleiterelektronik- und MEMS-Markt konzipiert. Diese Ausrüstung ermöglicht eine Vielzahl von Prozessen, wie zum Beispiel: Massen- und Oberflächenätzen, musterdefinierte Abscheidung und Entfernung, RIE (Reactive Ion Etching), MEMS und andere fortschrittliche hochauflösende Prozesse. 901 E ist einzigartig in der Integration von Soft X-Ray und optischen Systemkomponenten als einzige schlüsselfertige Einheit. Diese Integration verleiht dem Ätzer/Ascher eine Reihe von Funktionen, die im Gegensatz zu jeder anderen Maschine auf dem Markt gut abgerundet sind. Das Tool ist für einen sicheren 24/7-Betrieb konzipiert, mit einer vollständig anpassbaren Benutzeroberfläche, die die routinemäßige Prozessqualität erhöht und wiederholbare Ergebnisse verfeinert. TEGAL 901e basiert auf einer High-End-Monochromator-montierten Röntgenquelle und einer mehrachsigen Elektronenstrahl-Kollimationsoptik, die den Strahl auf das Zielsubstrat leitet. Es bietet auch eine Reihe von variablen Parametern, einschließlich Dosis, Fokus, Ätzrate und mehr. Eine digitale Rückkopplungsschleife mit geschlossenem Regelkreis überwacht den Ätzfortschritt, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten, während eine Reihe von Funktionen zur Umweltkontrolle sicherstellt, dass das Asset sicher und effizient arbeitet. TEGAL 901 E ist sowohl mit Aluminium- als auch mit Siliziumoxid-Ätzchemikalien kompatibel. 901e bietet eine Reihe fortschrittlicher Automatisierungsfunktionen, um Effizienz und Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig Kosten und Ausfallzeiten zu minimieren. Es beinhaltet ein integriertes Rezept-Management, das Komplexität und Rüstzeit reduziert, sowie ein automatisiertes Fehlermanagement, das wiederholbare Prozessleistung und erhöhte Erträge gewährleistet. Darüber hinaus unterstützt das Modell die Fernüberwachung und -steuerung von mehreren Standorten aus. Insgesamt ist 901 E der ideale Ätzer/Ascher für F&E, Prototyping und Produktionsanforderungen. Die integrierte Soft-X-Ray-Ausrüstung, die benutzerfreundliche Oberfläche und die hochpräzisen Ergebnisse machen es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.