Gebraucht TEGAL 901e #9244749 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher zur Präzisionsätzung von elektronischen Schaltungen und mikrostrukturierten Oberflächen. Es ist in der Lage, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200mm (8 ") zu verarbeiten und kann Ätzraten von bis zu 10 Mikrometer pro Minute erreichen. TEGAL 901 E verwendet die DCP-Technologie (Direct-Coupled-Plasma), um ein hochreaktives Plasma auf Substrate aufzubringen. Dieses Plasma wird mit Hochfrequenzenergie gespeist und in einer isolierten, belüfteten Kammer innerhalb von 901e erzeugt. Dieser Prozess erzeugt eine präzise, gleichmäßige Ätzantwort über den gesamten Arbeitsraum ohne Beschädigung der Oberflächen des Substrats. Zusätzlich ist die gesamte Bearbeitungskammer speziell für die Aufnahme des Plasmas ausgelegt, wodurch ein Austritt in den Arbeitsraum verhindert wird. 901 E ist auch in der Lage, durch den Einsatz einer digital gesteuerten, mehrdimensionalen Gasverteilungsanlage eine präzise Strahlprofilsteuerung und -einrichtung durchzuführen. Dieses Gasfördersystem ermöglicht es Benutzern, das Strahlabgabeprofil genau zu steuern und jede vertikale oder horizontale Schrittbelastung des Ätzens zu vermeiden. TEGAL 901e bietet eine Reihe fortschrittlicher Prozesskontroll- und Überwachungssysteme, um Genauigkeit und Konsistenz während des Betriebs zu gewährleisten. Es bietet Echtzeit-Temperatur- und Druckmessungen, um eine präzise und wiederholbare Leistung zu gewährleisten. Dieses Gerät bietet auch eine Vielzahl von Sensoren und Rückkopplungssystemen, um Prozessparameter zu überwachen und die resultierenden Daten grafisch in einem leicht verständlichen Format anzuzeigen. Darüber hinaus verfügt TEGAL 901 E über eine integrierte Kühlmittelversorgungsmaschine zur Regelung der Temperatur von Kammer und Substrat. Dieses Kühlmittelförderwerkzeug kann weiter gesteuert und auf erhöhte Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit eingestellt werden. 901e bietet auch Sicherheits- und Komfortfunktionen, wie einen Interlock-Türschalter, um einen unbeabsichtigten Betrieb des Vermögenswertes zu verhindern. Es wird auch mit einem automatisch hohen/niedrigen Alarm und zugehörigen Tasten geliefert. Insgesamt ist 901 E ein effizienter und präziser Ätzer/Ascher, der für die Verarbeitung von Substraten bis 200 mm Durchmesser mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt ist. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, einschließlich Echtzeit-Temperatur- und Druckauslesungen, digital codierte Strahlprofilsteuerung, integriertes Kühlmittelmodell und Sicherheitssysteme machen es zu einer idealen Wahl für jede Präzisionsätz- oder -veraschungsanwendung.