Gebraucht TEGAL 901e #9244751 zu verkaufen

TEGAL 901e ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der hervorragende Leistung in den heute anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozessen liefert. TEGAL 901 E verfügt über eine leistungsstarke induktive 500-Watt-Quelle, die hohe Kontaktwinkelätzprofile mit hohen Erträgen und Umdrehungszeiten liefert. Die Kombination aus physikalischen und chemischen Prozessen sorgt für konsistente, wiederholbare Ätzmuster und bietet gleichzeitig eine überlegene Kontrolle über kritische Parameter wie Ätzselektivität, Überätzverhältnis und Ätztiefe. 901e verwendet auch eine einzigartige hochdichte Plasmaquelle, die hochleistungsfähige Ionen mit einem engen Bereich von Plasmaenergie produziert. Dadurch können sowohl organische als auch anorganische Folien selektiv ultradünne Schichten mit überlegenen, reproduzierbaren Ergebnissen geätzt werden. Es reduziert auch Off-Target-Ablagerungen und andere Artefakte aus Prozesstransienten, um unbeabsichtigte Schäden an empfindlichen Substratmaterialien zu minimieren. Neben seinen Ätzfähigkeiten verfügt 901 E auch über fortschrittliche Steuerungssysteme zur fortschrittlichen Überwachung und Kontrolle seiner Prozesse. Sie nutzt die optische Endpunktdetektion zur präzisen Steuerung über die Ätzdauer sowie ihr In-situ-Sensorsystem zur Überwachung von Betriebsparametern in Echtzeit. Es verfügt auch über mehrere Warnsysteme zur Erkennung von Änderungen in den Prozessbedingungen und warnen den Benutzer, Maßnahmen zu ergreifen, um negative Auswirkungen zu verhindern. TEGAL 901e bietet auch erweiterte Diagnosefunktionen und integrierte Rezepte, um sicherzustellen, dass die komplexesten Ätzprojekte genau und effizient abgeschlossen werden. Die Rezeptbibliothek ermöglicht es Benutzern, ihre häufig verwendeten Ätzprozesse zu speichern oder sogar vorprogrammierte Rezepte zu verwenden, um einige Aufgaben zu beschleunigen. TEGAL 901 E ist auch mit außergewöhnlichen Sicherheitsmerkmalen wie dem eingebauten Notabschaltsystem und der aktiven Überwachung durch den Bediener konzipiert, um jederzeit einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt ist 901e ein fortschrittliches Ätzsystem, das den Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse von heute entspricht. Es bietet überlegene Substratselektivität, hohe Erträge und wiederholbare Ätzmuster sowie eine erweiterte Kontrolle über Ätzprozesse und Überwachung für die Sicherheit.