Gebraucht TEGAL 901e #9247682 zu verkaufen

TEGAL 901e
Hersteller
TEGAL
Modell
901e
ID: 9247682
Wafergröße: 6"
Plasma etchers, 6" Process: Oxide dry etch.
TEGAL 901e Etch/Asher ist eine fortschrittliche Lithographie-Ausrüstung für ultragroße Waferbetriebe. Es bietet eine Vielzahl von einheitlichen, isotropen Ätz- und Planarisierungsprozessen für alle Gerätetypen. Das System nutzt die neuesten Fortschritte in Zell- und Substrataufbereitungstechnologien, um eine überlegene Einheitlichkeit und Kontrolle aller Ätz- und Planarisierungsprozesse zu gewährleisten. TEGAL 901 E nutzt eine große aktive Fläche von 330mm und ist sowohl auf ein- als auch mehrstufigen Plattformen erhältlich, was eine dynamischere Rezeptur und Flexibilität in der Ätzstruktur ermöglicht. Die Plattform wird von der Windows-basierten Rezeptsoftware TEGAL Recipe Manager (TRM) angetrieben, die es Betreibern ermöglicht, maßgeschneiderte Rezepte zu erstellen, Operationen zu rationalisieren und den Durchsatz zu erhöhen. Die Xenon-Lampe-gesteuerte Lichtquelle und der Smart Heater-Softwareregler von 901e ermöglichen ausgezeichnete fotodefinierbare Ätzergebnisse bei einer Vielzahl von Temperaturen, sodass Bediener Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit in der Produktionsumgebung kombinieren können. Darüber hinaus bietet das Gerät Hochgeschwindigkeitsübertragungs- und Scanfähigkeiten mit einer maximalen Scanrate von 300mm/sec. 901 E wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit mit einer Reihe sicherheitsorientierter Funktionen und Warnungen für die Betreiber konzipiert. Die Maschine wurde einer Reihe von ausfallsicheren Tests unterzogen, um eine hohe Hardware- und Software-Zuverlässigkeit zu gewährleisten. In Bezug auf die Unterstützung von Hardware ist TEGAL 901e in der Lage, eine Verbindung zu einer Vielzahl von Host-Computern herzustellen, wodurch eine breite Palette von Betriebssystemen kompatibel ist. Zusätzlich kann das Tool CAM-Dateien von den meisten Standard-Lithographie-Tools akzeptieren und Bestätigungsdateien ausgeben, um Genauigkeit und Qualität während der Produktion zu garantieren. TEGAL 901 E ist eine ideale Wahl für ultra-große Waferbetriebe und bietet ein hohes Maß an Zuverlässigkeit, Flexibilität und Kontrolle. Die bewährte Gleichmäßigkeit, Geschwindigkeit und Effizienz der Anlage stellt sicher, dass der Benutzer in der Lage ist, Geräte mit Präzision und Genauigkeit zu produzieren.
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