Gebraucht TEGAL 901e #9269137 zu verkaufen

TEGAL 901e ist eine hochentwickelte Ätz-/Aschermaschine für Serienanwendungen. Es ist eine automatisierte Maschine, die in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, mit einem Präzisionsgrad von bis zu 6 Mikrometer. Es bietet die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit und ist in der Lage, in einer Vielzahl von Materialien zu ätzen, einschließlich Nitrid-Silizium, Aluminium und Wolfram. Es hat eine maximale Wafergröße von 12 Zoll und kann Prozessoperatorparameter aufnehmen. Die Ätzkammer von TEGAL 901 E ist ein geschlossenes Kastendesign, das präzise Temperatur- und Strömungsbedingungen für optimale Ätzergebnisse ermöglicht. Seine CD-Steuerung ist eine hochmoderne lineare Encodereinheit, die in der Lage ist, präzise, wiederholbare Prozessergebnisse über mehrere Läufe zu liefern. Die Kammer selbst ist aus rostfreiem Edelstahl gefertigt und verfügt über ein kaltes Wandfutter für eine robuste Kühlsystemleistung. Neben den Funktionen auf Prozessebene ist 901e auch mit einer Reihe von Funktionen zur Prozessüberwachung und Datenerfassung ausgestattet, einschließlich einer universellen computergesteuerten Steuereinheit und umfangreichen Datenerfassungsfunktionen. Dadurch wird sichergestellt, dass Prozessparameter mit Konsistenz aufgezeichnet und verfolgt werden und Änderungen am Prozess oder den Einstellungen genau gemeldet werden. Dies ermöglicht verbesserte und konsistente Produktionsmengen und bietet gleichzeitig eine zuverlässige Basis für die Analyse der Ergebnisse. 901 E bietet darüber hinaus ein robustes Sicherheitsprogramm mit einer Sicherheitsauswertungsmaschine, die die Überwachung sicherheitsrelevanter Faktoren während des gesamten Prozesses ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine automatische Abschaltfunktion, die eine sichere und effiziente Abschaltung des Prozesses im Notfall ermöglicht. Insgesamt ist TEGAL 901e ein hochentwickeltes und fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug und bietet eine zuverlässige, zeiteffiziente und genaue Methode zum Ätzen und Aschen von Materialien. Es kann für eine breite Palette von Prozessen eingesetzt werden, vom Feinzeilenätzen bis zum Tiefätzen, und ist eine ideale Lösung für Serienanwendungen. Seine überlegene Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit sorgt dafür, dass viele verschiedene Materialien mit Präzision und Genauigkeit geätzt werden können, was für mehr Erfolg und Rentabilität für Unternehmen sorgt.