Gebraucht TEGAL 901e #9314694 zu verkaufen

TEGAL 901e
Hersteller
TEGAL
Modell
901e
ID: 9314694
Wafergröße: 6"
Etcher, 6".
TEGAL 901e Asher ist eine moderne Hightech-Ätzausrüstung zur Herstellung von Leiterplatten und anderen Komponenten. Es ist ein System, das die neuesten kombiniert in Chemical Mechanical Planarization (CMP), Reactive Ion Etch (RIE) und Wafer Clean. TEGAL 901 E ist eine Hochleistungs-Trockenätzeinheit, die mit reaktiven Sauerstoffgemischen Leiterplattenkomponenten mit hoher räumlicher Auflösung herstellt. Der Grundaufbau von 901e umfasst zwei Gaskästen, die die für den Ätzprozess benötigten genauen Gasgemische erzeugen und steuern. Diese Gaskästen befinden sich auf und unterhalb der Ätzkammer. Die Ätzkammer ist eine vakuumdichte Edelstahl-Bearbeitungskammer, in der Träger/Maske, Zielplatte und Substrat untergebracht sind. Es verfügt über eine in die Kammertür integrierte Drucksteuerungsmaschine und ist mit einem schnellen Entlüftungsventil zum sicheren Öffnen und Schließen der Kammer ausgestattet. 901 E verfügt über ein 4-Zonen-, 4-Mikron-Niveauheizwerkzeug und einen Regler, der für jeden Ätzschritt eine präzise Steuerung der Temperatur und der Gaszufuhr ermöglicht. TEGAL 901e enthält einen leistungsstarken Pulsed Power Generator, der eine kontrollierte und konsistente Energieverteilung auf das Ziel und den Träger ermöglicht. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle von Gleichmäßigkeit, Selektivität und Ätzfrequenz. Es ist ein vollautomatisches Asset, das sowohl Einzelmasken- als auch Mehrfachmaskenätzen ermöglicht. Darüber hinaus bietet TEGAL 901 E integrierte Datenerfassung, Reinigung und Endstufeninspektionen, die eine Wiederholbarkeit und minimale Materialverschwendung der Ätzstufen ermöglichen. 901e ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Temperatur-, Druck- und Dehnungssensoren. Das Modell ist mit ergonomischen Betriebstüren mit abschließbarem Griff, Verriegelungsstützhaken und explosionsgeschütztem Glas konzipiert, die höchste Sicherheit im Ätzprozess gewährleisten. Die Leistung von 901 E gehört zu den besten auf dem Markt, da es in der Lage ist, eine Ätzauflösung von 5 Mikron und eine schnellere Abscheidungsrate für Kupfer, Aluminium und andere Materialien zu erzeugen. Die Ausrüstung arbeitet in konsistenten, wiederholbaren Ergebnissen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einem idealen Ätzsystem für elektrische Leiterplatten, integrierte Schaltungen und andere kritische Komponenten.
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