Gebraucht TEGAL 903 & 903E Series #425 zu verkaufen

TEGAL 903 & 903E Series ist ein Ätzer/Ascher, ein fortschrittliches Werkzeug zum Ätzen, Aschen und Trockenätzen in einer Vielzahl von Anwendungen, speziell für die Herstellung von MEMS und Halbleiterbauelementen. Es verwendet eine innovative beheizte Gasströmungsanlage, um gezielte Materialien zu ätzen und zu aschen, die hohe Ätzraten, einen verbesserten Gerätedurchsatz und reduzierte Ätzzykluszeiten bietet. 903 & 903E Serie hat eine große, breite Kammer, mit einer großen Ätzfläche von 300 mm x 400 mm x 40 mm. Es verfügt über ein wartungsarmes Quarzrohr, glatte Keramikwände und ein hochpräzises Antriebssystem mit einem variablen Frequenzregler zur Steuerung der Ätzrate. Das Gerät verfügt über viele fortschrittliche Prozesssteuerungen, einschließlich Druck, Temperatur, Gasstrom, Schutzgasart, Kammerentlüftungsgeschwindigkeit, Parameterauswahl und Laden/Entladen. Insgesamt bietet die TEGAL 903 & 903E Serie eine hervorragende Ätzleistung zusammen mit vielen fortschrittlichen Prozesssteuerungen, um ein hochpräzises Ätzen und Aschen von traditionellen Metallen und neuen Materialien zu ermöglichen. Die Maschine ist für Zuverlässigkeit, geringe Wartung und wirtschaftlichen Betrieb gebaut. Die 903 & 903E Serie verfügt über ein großes Prozessfenster, schnelle Ätzraten und einen verbesserten Gerätedurchsatz. Es wurde auch entwickelt, um Partikelverunreinigungen zu reduzieren und einen überlegenen Durchsatz bei kürzeren Zykluszeiten zu ermöglichen. Die Serie kann laseraktiviertes Ätzen, Ionenätzen, reaktives Ionenätzen, Plasmaätzen und RIE von dielektrischen, piktronischen und optischen Materialien durchführen. Dies macht es für eine Vielzahl von industriellen und kommerziellen Anwendungen geeignet, einschließlich Elektrooptik, Photonik, Halbleiterbauelementherstellung und MEMS. Insgesamt ist die TEGAL 903 & 903E Series ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der eine überlegene Ätzleistung, hohe Ätzraten, einen überlegenen Gerätedurchsatz und verbesserte Zykluszeiten bietet. Das Tool verfügt über viele fortschrittliche Prozesssteuerungen, die ein präzises Ätzen und Aschen von traditionellen Metallen sowie neue Materialien für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen ermöglichen.