Gebraucht TEGAL 903 #173938 zu verkaufen
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ID: 173938
Wafergröße: 4"
Reactive ion etcher, 4"
Cassette to cassette
Includes:
Fomblin prepped direct drive vacuum pump
Not included:
Chillers.
TEGAL 903 ist ein manueller, elektrostatischer Plasmaätzer, der bei der Herstellung von Hochtechnologieprodukten wie Halbleiterscheiben verwendet wird. Es ist eine der vielseitigsten und leistungsstärksten Trockenätzanlagen für den Einsatz in fortschrittlichen Forschungs-, Entwicklungs- und Prototypenlaboren. Die Maschine kann eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Metalle, Dielektrika, Passivate und viele andere Substrate ätzen/aschen. Der Ätzprozess ist hochpräzise und hat die Fähigkeit, mikroskopische Merkmale mit hoher Selektivität zu ätzen. Die Maschine verwendet eine fortschrittliche neue Technologie eines plasmabetriebenen elektrostatischen Feldgenerators, um die Metallionen und andere reaktive Materialien auf die Oberfläche des Wafers zu treiben. 903 verfügt über zwei isolierte elektrostatische Kammern, die ein Mehrfachmaskenätzen und einen variablen Temperaturbereich ermöglichen. Beide Kammern können bei unterschiedlichen Temperaturen betrieben werden, so dass der Benutzer komplexe gemusterte Radierungen unter Kontrolle der Grabtiefe herstellen kann. Mit seinen einstellbaren Druck- und Temperatureinstellungen kann TEGAL 903 eine breite Palette von Abscheidestärken erreichen. Dies ermöglicht die Wahl der optimalen Ätzgeschwindigkeit und Abtriebsqualität. 903 ist in der Lage, extrem hohe Ätzraten zu erzeugen, insbesondere bei der Bearbeitung von Materialien wie Silizium und Germanium. Die Maschine verfügt über ein modernes Vakuumsystem, das eine stabile Ätzumgebung für hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit beibehält. Die automatische Niveauregulierung ermöglicht wiederholbare Ätzprofile von Wafer zu Wafer. TEGAL 903 bietet ausgezeichnete Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Sein vielseitiges Design ermöglicht einen einfachen Zugang zu allen Ätzverfahren, einschließlich Maskierung, Abscheidung, Ätzen und Reinigung. Seine benutzerfreundliche Oberfläche, intuitive Menüstruktur und fortschrittliche Technologie machen es zu einer guten Wahl für Profis in der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Maschine ist erschwinglich und bietet einen zuverlässigen Betrieb auf kostengünstige Weise.
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