Gebraucht TEGAL 903 #293594520 zu verkaufen

TEGAL 903 ist eine moderne, direkt schreibende Lithographieausrüstung für die Herstellung von Nanostrukturen mit Präzision und Effizienz. Das System nutzt fortschrittliche Optik, Positionierungssysteme und spezialisierte Software, um einen Fotoresistenten exakt einer Lichtquelle auszusetzen. Hochauflösende Linsen und Spiegel werden verwendet, um die Lichtenergie auf ein Substrat zu fokussieren, was eine kontrollierte Lithographie ermöglicht. Diese Einheit ist in der Lage, Nanostrukturen bis zu Dutzenden von Nanometern zu strukturieren. 903 ist ein Industriestandard-Gerät, das mit einer Vielzahl von Substraten verwendet werden kann und widersteht, um Nanostrukturen mit hoher Präzision zu erstellen. Die Maschine enthält mehrere Komponenten, die jeweils eine wesentliche Rolle im Lithographieprozess spielen. Das Lichtquellenmodul ist die Schlüsselkomponente des Werkzeugs und die Art der verwendeten Lichtquelle hängt von dem Muster ab, das geschrieben werden muss. Je nach Aufgabe kann die Lichtquelle ein Laser-, i-Linien- oder ArF-Excimerlaser sein. Zusätzlich zu den Standard-optischen Komponenten verfügt TEGAL 903 über eine Stufenpositionierung mit dreiachsiger motorisierter und manueller Steuerung, um eine präzise Substratpositionierung zu gewährleisten. Um ein genaues Muster zu gewährleisten, verfügt das Modell über anspruchsvolle Ausrichtungs- und Metrologiewerkzeuge, um die Perfektion des exponierten Musters sicherzustellen. Darüber hinaus bietet 903 mehrere Prozesssteuerungsparameter, einschließlich Dosis- und Fokussteuerung, angelegte Spannung und Pellicle-Positionierung, um eine präzise Prozesssteuerung für eine Vielzahl von Anwendungen zu ermöglichen. Das Gerät beinhaltet auch eine Zusatzlichtquelle für Resistbacken, die bis zu 200 ° C erwärmt. Die Software mit TEGAL 903 wurde entwickelt, um eine intuitive Benutzeroberfläche zur Verfügung zu stellen, die eine schnelle Mustererstellung und Rapid Prototyping ermöglicht. 903 ist das breiteste Ätz- und Aschersystem, das speziell auf Nanomaterialien zugeschnitten ist und die Flexibilität bietet, um den einzigartigen Produktionsanforderungen eines Kunden gerecht zu werden. Mit seiner fortschrittlichen Optik, intelligenten Software und der präzise motorisierten Steuerung ermöglicht TEGAL 903 Benutzern, Nanostrukturen mit großer Präzision und Wiederholbarkeit zu ätzen und zu verwerten.