Gebraucht TEGAL 903 #9007913 zu verkaufen

TEGAL 903 ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung kleiner zufälliger Logik- und Speicherchips. Es ist mit einer Elektronenstrahlquelle und einer Strahlablenkeinrichtung ausgestattet, die es ermöglicht, einen hohen Durchsatz und eine gleichbleibende Ätzqualität zu erreichen. 903 hat sich bewährt, Wafer mit Merkmalsgrößen unter 1 Mikron zuverlässig herzustellen. Dieses System verfügt über eine fortschrittliche perforierte Sputterpistole mit unabhängig einstellbaren Gitterelektronenstrahlemittern, die in der Lage sind, Materialien in sehr hoher Präzision zu ionisieren und abzuscheiden. Die Integration dieser fortschrittlichen Elektronenstrahlquelle mit der innovativen Strahlablenkeinheit ermöglicht ein hohes Durchsatzätzen bei Auflösungen unter 1 Mikron, was für Merkmale wie ultrafeine Linienbreiten und Kontaktlöcher nützlich ist. Die Maschine verfügt über eine Reihe innovativer Funktionen, um Prozesswiederholbarkeit und Prozesskontrolle zu gewährleisten. Ein Feedback-Tool mit geschlossener Schleife verwendet eine ladungsgekoppelte Gerätekamera, um den Ätzfortschritt zu überwachen und Mittelätzkorrekturen vorzunehmen, um kritische Prozessparameter wie Gleichmäßigkeit, Kontaktlochgenauigkeit, Breite und Tiefe beizubehalten. Die Anlage ist auch mit einstellbaren Gasventilen ausgestattet, mit denen Benutzer Ätzparameter wie Seitenwandwinkel, Abscheiderate, Merkmalsgröße und Ätzrate genau steuern können. Ein Ätzfrequenzmonitor hilft auch, Feedback zu geben, um die Gleichmäßigkeit über den Wafer aufrechtzuerhalten. Um die Prozessgenauigkeit zu gewährleisten, verwendet TEGAL 903 Präzisionswäscher und eine dreidimensionale Wi-Zaunfähigkeit, um sicherzustellen, dass Muster mit hoher Genauigkeit von der Maske auf den Wafer übertragen werden. Die Programmierbarkeit des Modells ermöglicht auch hochgradig anpassbare Rezepte, so dass Benutzer ihren Prozess auf ihre spezifischen Bedürfnisse abstimmen können. Eines der bemerkenswertesten Merkmale von 903 ist seine Multi-Tool-Natur. Es kann zum Ätzen, Beschichten und anderen Arten von Prozessen verwendet werden, um eine Vielzahl von Produktionsanforderungen zu erfüllen. Mit seinen Hochdurchsatzfunktionen und ausgefeilten Steuerungsalgorithmen eignet sich TEGAL 903 perfekt für die Serienproduktion von zufälligen Logik- und Speicherchips.