Gebraucht TEGAL 903 #9071954 zu verkaufen

TEGAL 903 ist ein Hochleistungs-Ätz-/Ascher-System zur Verarbeitung unterschiedlichster Substrate. Es hat eine maximale Ätzrate von 400 nm/min und eine maximale Abscheiderate von 500 nm/min, was es ideal für die Verarbeitung größerer Substrate macht. Es verfügt über ein fortschrittliches Dualpass-Verfahren, das eine Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat ermöglicht und als solches gut für präzise Ätz- und Abscheidungsprozesse geeignet ist. 903 verfügt über eine Reihe von einstellbaren Parametern, was bedeutet, dass Benutzer ihre Prozesse an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können. Dazu gehören verschiedene Prozessgrößen wie Prozessdruck, Kammertemperatur, Prozeßdauer und Gaszusammensetzung sowie prozessspezifische Parameter wie Endpunktdetektion und Reaktivgasmischung zum Ätzen und Abscheiden. TEGAL 903 verfügt über eine breite Palette von Sicherheitssystemen, wie automatische Kohlendioxid- und Stickstoffspülung, Drucküberwachung, Überspannungsschutz und Erdfehlerunterbrecher. All diese Sicherheitssysteme sorgen dafür, dass das Gerät sicher betrieben werden kann. 903 verfügt zudem über ein hohes Maß an Automatisierung und Steuerung, was eine präzise Steuerung von Ätz- und Abscheideprozessen ermöglicht. Es verfügt auch über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die den Betrieb von TEGAL 903 einfacher und effizienter machen soll. 903 eignet sich für den Einsatz in Halbleiterherstellungs-, elektrooptischen, Mikrowellen- und MEMS-Bauelementen. Es ist auch für viele andere Anwendungen gut geeignet, wie Datenspeicher, Materialcharakterisierung, photonische Geräteherstellung und biomedizinische Geräte. Abschließend ist TEGAL 903 ein fortschrittliches, multifunktionales Ätz-/Aschersystem für ein breites Anwendungsspektrum. Es verfügt über ein Dualpass-Verfahren für eine einheitliche Substratverarbeitung, eine einstellbare Parametersteuerung zur Anpassung der Prozesse an die individuellen Bedürfnisse des Anwenders, eine Reihe von Sicherheitssystemen zur Gewährleistung eines sicheren Betriebs und eine benutzerfreundliche GUI für einen effizienten Betrieb. Es ist gut geeignet für viele verschiedene Anwendungen, wie seine breite Palette von Anwendern belegt.